气体激光器解读.pptVIP

第三讲 气体激光器 李卓 王欣 An excimer laser is a specific type of molecular gas laser that produces high intensity light in the ultraviolet (UV) range of the electromagnetic spectrum. The UV light source is a Lumonics PM-848k excimer laser, which can be configured to operate with either a KrF (krypton-fluoride) gas mixture at 248 nm or an ArF (argon-fluoride) gas mixture at 193 nm. The excimer laser beam will be used for microfabrication in a wide range of absorbing materials. Any feature down to a size of 2 mm can be etched into a surface in a fraction of the processing time of standard photolithography. The range of applications will cover accurate and rapid scribing, drilling holes through the substrate, and creating complicated patterns and devices out silicon and plastics alike.  作业 气体激光器的分类 He-Ne激光器的能级图 试利用能级图说明为什么准分子激光器通常为宽谱激光器 * * 准分子激光器的特点 准分子寿命很短，只有10-8秒，激光跃迁的下能级是排斥态或寿命非常短(只有10-13秒)的弱束缚态，这就是说激光下能级总是空的。 与其它分子激光器属于束缚—束缚辐射跃迁的情形不同，准分子激光器属于束缚-自由辐射跃迁。由于不存在明确的振动—转动跃迁，所以跃迁是宽带的。 这就导致准分子激光器具有很高的阈值泵浦功率。当然，宽带辐射容易实现可调谐激光发射。 * * 能级结构 图11 XeF*势能曲线 图11是XeF*准分子的势能曲线。基态X2∑+1/2是一个弱束缚态， 激发态B2∑+1/2、 C2∏3/2和D2∏1/2是强束缚态。 激光跃迁发生在B2∑+1/2 X2∑+1/2，共有10条谱线，强线是353.1nm。 准分子激光器的工作原理 * * 激发方式 准分子激光器的激发方式有快速放电激发，电子束激发，电子束控制放电激发和X射线预电离放电激发4种。其中快速放电激发简便，激光器的结构与N2分子相同。 激发方法不同，形成的过程亦稍有不同。 * * 图12 快速放电泵浦的XeF*激光器 XeF*激光器的结构 * * 表1 准分子激光器及其输出波长 * * 第二种形式是电子与氩原子碰撞后直接把氩原子电离并激发到激发态，称这种激发过程为“一步过程”，其反应式为： 上面二种激发形式在氩离子激光器中都存在，至于哪种占优势则取决于工作条件与工作方式。连续工作的器件中，“二步过程”占主导地位。 * * 第三种形式是通过电子碰撞先把Ar+激发到3p45s和3p44d等高能态上，然后通过辐射跃迁到激光上能级3p44p上。称这种激发过程为串激跃迁。这一过程是激发3p44p能级组的主要过程之一。 这三种激发过程，要求电子的能量都是比较高的 ，因此要求低气压，大电流激励。由于放电电流密度大，所以氩离子激光器的结构比其他气体激光器要复杂的多。 * * 氩离子激光器的结构 氩离子激光器的结构包括放电管、电极、回气管、谐振腔、轴向磁场等部分，如图6所示。 图6 氩离子激光器的基本结构 * * 放电管 由于工作电流大，放电毛细管的管壁温度可达1000℃以上，所以要求放电管的材料要耐高温、散热性好。此外，还要求放电管材料的气密性好、吸气率低，机械强度高。常用的材料有石英、氧化铍陶瓷、石墨等。 阴极和阳极 Ar＋激光器的阴极要求有较高的电子发射率，能耐离子轰击，耐高温。一般采用热阴极，最常用的是钡钨阴极。阳极一般也采用耐高温、导热、导电性能好的材料。 * * 回气管 Ar＋激光器还必须有回气管，因为在大电流密度和低气压放电中，存在严重的气体泵浦效应，即放电管内的气体会被从一端抽运到另一端，造成两端