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2 大气扰动及激光束漂移 1.大气挠动 实际大气存在: 气流,温度梯度等,使空气密度变化,从而折射 率n变化。实际空气折射率变化一般用结构函数来表示: D n (ρ) = [n(r 2 ) - n(r 1 )] 2 经验与理论公式: D n (ρ) = C n ρ 3 / 2 ; l 0 ≤ ρ ≤ L 0 Cn称作l 0 到L 0区间的结构参数．是折射率起伏变化的描述， 它与大气参数如热流、风速,高度有关。 l 0为最小非均幻旋 涡的尺寸，典型值为1-10mm、； L 0为最大非均匀尺度，它 和离地面的高度有关，近地表面处的干扰要大一些。 克服大气挠动的方法主要有: 机械法 光学法 机械法常用: 1)选择空气扰动最小的时间工作，如在早晨太阳升起之前。 另外，控制外界环境也能起到一定作用，如在光束传输路程 上避免有热源和温度梯度及气流等的影响 2)将光束用套管屏蔽，甚至将管子内抽成真空 3)沿着激光束前进的方向以适当流速的空气流喷射，因为 空气流提高空气扰动的频率，可用时间常数比较小的低通滤 波器，消除输出信号的交变成分。 4)对频率为50—60Hz的扰动可采取积分电路消除 激光准直测量的应用 应用场合: 测绘 建筑施工 大型设备安装 仪器设备制造 形位误差测量 误差修正 激光准直测试技术的应用 ①大尺寸设备的装配和制造的准直 激光头 透明靶（PSD） 端靶(PSD或反射镜) 激光二极管 微型柱面镜 准直系统 滤波针孔 自准直探测器 光阱 输出窗 波音777客机装配用激光准直系统 测量水平： 如机翼长度约61m，其所有部件，如机翼前 缘的对准标准不确定度小于0.13mm，整个机 翼装配合成标准不确定度为0.76mm。 可以以0.025mm的不确定度探测激光束的位置。 激光准直测试技术的应用 ②直线度的测试 激光头 光电靶标 机床床身 测量机床床身直线度的激光准直系统 激光准直测试技术的应用 ③多自由度准直测量 PSD 激光器 角锥棱镜 机床五维激光准直测量系统 美国Michigan University 0.5m范围内的测试分辨力：线位移为2μm，角位移0.05〞，但滚转角分辨力较低。 激光准直测试技术的应用 ③多自由度准直测量 PSD 激光器 光电探测器 六自由度激光测量系统 日本Nihon University和Sophia University 同轴度测量 用激光准立仪制导镗内孔 生产上自动控制 * 光机电测控技术基础 任课教师:严晗 武汉理工大学 机电工程学院 第3章 激光测试基础 目录 3-1 激光的基本性质 3-2 激光原理概述 3-3 激光器的分类和特点 3-4 激光准直技术 3-5 激光多普勒测速技术 3-6 激光测距技术 激光准直测量原理 直线度误差是指被测实际轮廓线相对于理想直线的变 动量；直线度测量是平面度、平行度、垂直度等几 何量测量的基础 传统方法: 建筑: 垂线法, 拉钢丝法 大型设备安装:拉钢丝法 木工: 划线法 机械加工: 钳工的划线法, 定位 传统方法的特点: 简单,直观,垂线法, 拉钢丝法易 受环境因素影响,精度低 自准直光管和准直望远镜 测量精度10um，使用自准直光管具有0.1 s级的灵 敏度。缺点，如操作不方使，存在瞄准、调焦误 差等。同时，在较长的距离下，像质模糊，照度 低。一般可靠的工作距离小于30 m，此外也存在 空气的十扰。 1- 物管，带消色差透镜的物 管1.1 2- 准直测头， 2.1分束器、 目镜刻线2.2及准直刻线2.3 3- 目镜 4- 带灯泡4.1的光源， 4.2过 滤玻璃及4.3聚光器 自准直光管和准直望远镜 ⑵ 反射像 叉丝像 ⑶ ⑴ 伸缩目镜筒 透光窗 分划板视场 旋转目镜调节鼓轮 激光准直技术具有拉钢丝法的直观性、简单性和普通光学准直的精度，并可实现自动控制。 现有的激光准直仪按照工作原理可以分为 1) 振幅测量法 2) 干涉测量法 3) 偏振测量法 1. 振幅（光强）测量法 利用激光的能量中心及其光强分布实现直线度测量 其基本原理: 原理：振幅测量型准直仪以激光束的强度中心作为直线基准，在需要准直的点上用光电探测器接收。探测器输出对中和偏心信号。 这种方法比用人眼通过望远镜瞄准方便，瞄准的不确定度上也有一定的提高，但其准直度受到激光束漂移、光束截面上强度分布不对称、探测器灵敏度不对称，以及空气扰动造成的光斑跳动等的影响。 缺点: 激光器的光束漂移 光束的非均匀性 探测器灵敏度不对称 空气的折射率梯度 气流的扰动等影响 (1)菲涅耳波带片法 强分布均匀, 当激光束通