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前 言 第一节 学习本课程的目的 现代机械工业发展对机械设计类人才的要求 世界上最小的机器人 一大群被遥控的蟑螂般大小的机器坦克,蜂拥着从下水管道和通风口进入一幢办公楼,你能想象出这样的情景吗?只要给它们安装上合适的传感器、摄像头和通讯装置,这些微型坦克就可以在人类难以亲临的地方搜寻出化学武器、地雷或是炸弹。它们也可被用来寻找某一场事故后的幸存者或者跟踪人的活动。 这些构想很可能将变成现实,而这一切都要归功于美国桑迪亚国家实验室的埃德·海勒和他的同事们。这个研究小组最近向人们展示了可能是迄今为止世界上最小的机器人,他们说它“可以在五分的硬币上停靠,而在一角的硬币上转弯。这种机器人是桑迪亚实验室研制的微型机器人系列中最新的。为了使它比它的前辈们更小,科学家们采取了一种新的技术来把各种电子元件组装在一起,这包括重新设计轮子和使用不同的机身材料。这样造出的机器人体积只有四分之一立方英寸,重量也不超过一盎司。 由于采用了像坦克一样的履带,所以机器人的两侧各配有一个马达,由三粒钮扣电池供电,以便它能自由移动。它还装有一个带8K只读内存的处理器和一只温度传感器,这也是它与众不同之处。在测试中,这种微型机器人以每分钟大约20英寸的速度,成功的在遥控下通过了用零钱搭起的障碍路段。科学家们还计划进一步提高它的性能,比如考虑为它安上微型的摄像头、麦克风、通讯装置和微型化学物质感应器。 机器人直径1毫米、长4毫米,体形是目前世界上最小的。这种机器人可以进入人的血管并将药物送往人体各处。这种机器人在血管中运动时是在“爬行”而不是在“游泳”,这也让它在血管中的运动更容易控制。 机器人自身并不携带电池,其动力来源于外部磁场激发的振动。正因为其能量全部来自外部,这种机器人不仅能够在人的控制下无时限地在人体内工作,而且这样的设计还让科学家得以最大限度缩小机器人的尺寸。 在微创手术以及治疗癌症用的近接疗法中,这种机器人可以作为投送药物的工具,解决如何将药物精确施于需要治疗部位的问题。 美国:迄今最小的机器人苍蝇首次试飞 2002年11月,美国加州大学伯克利分校的科学家们宣称,他们已经利用仿生学原理制造出了世界上第一只能飞翔的“机器蝇”。 苍蝇个头虽小,却能以40公里的时速飞行;如果发现情况,能在3%秒的瞬间迅速起飞;苍蝇飞行一整天却只消耗食物1/10克。加州大学伯克利分校的一位生物学家说:“苍蝇在所有飞虫中,飞行最稳定,机动性能最佳的。在动物世界,苍蝇就是喷气式战斗机。” 加州大学展示的这只机器蝇名叫“黑寡妇”,重量只有100毫克,身高不到3厘米。该项目负责人马特·金侬介绍说:“它在100米上空飞行,人们用肉眼几乎发现不了它,而它却可以拍出极为清晰的照片传回。”不过科学家表示,目前这只机器蝇飞得太快,不能自行控制方向。而他们理想中的机器蝇则应该飞得快慢自如,可以随时变换方向,而且会自行判断周围情况,躲在不为人知的角落。 MEMS技术的应用范围广泛,MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿研究领域,几乎涉及到自然科学及工程技术的所有领域,如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学和能源科学等。与不同的技术结合,往往便会产生一种新型的MEMS 器件。 目前,除了进行信号处理的集成电路部件以外,微机电系统的应用主要有以下几大类:(1)微传感器。 传感器是应用最广泛也是最成熟的MEMS,包括敏感和检测力学量、磁学量、热学量、化学量和生物量等的传感器。每一类又可以细分为多种,例如微加速度计等传感器。 (2)微执行器。 主要包括微电机、微陀螺、微泵、微进给装置等 (3)微型构件。 三维微型构件主要包括微膜、微梁、微探针、微齿轮、微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微连杆等。 4)微机械光学器件。 即利用MEMS技术制作的光学元件及器件,主要有微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等。 (5)真空微电子器件。 它是微电子技术、MEMS技术和真空电子学发展的产物,具有极快的开关速度、非常好的抗辐照能力和极佳的温度特性。目前主要应用如场发射显示器、场发射照明器件、真空微电子毫米波器件、真空微电子传感器等。 (6)电力电子器件。 主要包括MEMS技术制作的垂直导电型MOS(VMOS)器件、V型槽垂直导电型MOS(VVMOS)器件等各类高压大电流器件 (7)微小型机器人。 第二节 学习本课程的主要内容 传统观点 机电系统就是
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