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静电防护技术 什么是静电 静电是一种电能，他存留于物体表面，是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果，是通过电子或粒子的转换而形成的。 静电现象是电荷在产生和消失过程中产生的电现象的总称。如摩擦起电、人体起电等现象。 静电应用 静电喷涂 静电纺织 精电分选 静电成像 静电复印 静电的危害 第一个阿波罗载人宇宙飞船中，由于静电放电导致爆炸，使三名宇航员丧生； 火药制造过程中由于静电放电(ESD)，造成机毁人亡的事故时有发生； 在电子工业中，随着集成度越来越高集成电路的内绝缘层越来越薄，互连导线宽度和间距越来越小，其相应耐击穿电压越来越低。 集成电路耐击穿电压举例 CMOS器件绝缘层厚度典型厚度约为0.1mμ，耐击穿电压80～100V VMOS器件绝缘层更薄，击穿电压30V。而在电子产品制造中以及运输、存储等过程中所产生的静电电压远远超过MOS器件的击穿电压，造成器件硬击穿或软击穿（器件局部损伤）。 制定防静电标准 各国制定标准或规定 对静电敏感元件的设计、制造、购买、入库、检验、仓储、装配、调试、半成品与成品的包装、运输等均有相应规定 我国参照国际标准制定了军用和企业标准，例如有航天部、机电部、石油部等标准 电子产品制造中的静电源 (1) 人体静电 人以衣服、鞋、袜等物体之间的摩擦、接触和分离等产生的静电是电子产品制造中主要静电源之一。 人体活动产生静电电压约0.5～2kV。 空气湿度对静电电压影响很大，在干燥环境中还要上1升个数量级。 人体带电后触摸到地线，会产生放电现象，产生不同程度的电击感反应。 电子产品制造中的静电源 (2) 工作服 化纤或棉织工作服与工作台面、坐椅摩擦时，可在服装表面产生6000V以上的静电电压。并使人体带电，此时与器件接触时，会导致放电，损坏器件。 电子产品制造中的静电源 (3) 工作鞋 橡胶或塑料鞋与地的绝缘电阻高达1013Ω，当与地面摩擦时产生静电，并使人体带电。 电子产品制造中的静电源 (4) 包装与运输 树脂、漆膜、塑料膜封装的器件放入包装中运输时，其间表面与包装材料摩擦能产生几百伏的静电电压，对敏感器件放电。 电子产品制造中的静电源 (5) 包装与储物盒 用PP(聚丙烯)、PE(聚乙烯)、PS(聚丙乙烯)、PVR(聚氨酯)、PVC和聚酯、树脂等高分子材料制作的各种包装、料盒、周转箱、PCB家等都可能因摩擦、冲击产生1～3.5kV静电电压，对敏感器件放电。 电子产品制造中的静电源 (6) 普通工作台面 普通工作台面，受到磨擦产生静电。 电子产品制造中的静电源 (7) 地面 混凝土、打蜡抛光地板、橡胶板等绝缘地面的绝缘电阻高，人体上的静电荷不易泄漏。 电子产品制造中的静电源 (8) 电子设备和工具 电烙铁、波峰焊机、再流焊炉、贴片机、调试和检测等设备内的高压变压器、交直流电路都会在设备上感应出静电。如果设备静电泄漏措施不好，都会引起敏感器件在制造过程中失效。 烘箱内热空气循环流动与箱体摩擦、 CO2低温箱冷却箱内的CO2蒸汽均会产生大量的静电荷。 静电敏感元件(SSD) 对静电反应敏感的元器件称为静电敏感元器件(SSD) 主要指超大规模集成电路，特别是金属化膜半导体(MOS电路) 根据静电敏感程度分级，制定SSD分级表 SSD分级表 相对湿度与人体活动带电关系 人体带电电位与电击感度 静电防护原理 (1)静电防护的核心是“静电消除” 电子产品制造中，不产生静电是不可能的。 产生静电不是危害所在，其危害在于静电积聚以及由此产生的静电放电。 对可能产生静电的地方防止静电积聚。采取措施，使静电便产生，便泄放，将静电电压控制在安全范围内。 对已经存在的静电积聚迅速消除掉，即时泄放。 静电防护方法 (2)使用防静电材料 不能采用金属和绝缘材料做防静电材料。 防静电材料： (1) 表面电阻在1×105Ω.cm以下的所谓静电导体 (2) 表面电阻在1×105Ω.cm～ 1×108Ω.cm的静电亚导体。 (3) 常用的静电防护材料是在橡胶中混入导电碳黑来实现的，其表面电阻控制在1×106Ω.cm以下。 静电防护方法 (3)泄漏与接地 对可能产生或已经产生静电的部位进行接地，提供静电释放通道。埋大地线建立独立地线，接地电阻10Ω(见GBJ179或SJ/T10694-1996) 将静电防护材料(如工作台面垫、地垫、防静电腕带等)通过1M Ω电阻接到通向大地线的导体上(SJ/T10630-1995)。串联1M Ω电阻是为了确保对地泄放5mA的电流。 软接地：见以上。 硬接地：设备外壳和静电屏蔽罩通常是直接接地。 静电防护方法 (4)理想的EOS/ESD安全工作台 IPC-A6100标准中推荐的防静电工作台阶地方法 静电防护方法 (5)可接受的EOS/ESD安全工作台