砂浆密度研究.docVIP

多线切割砂浆密度变化规律及其主要影响因素研究 在多线切割中，砂浆密度关系到砂浆能力。将槽距，装载量，片厚，新碳化硅和新悬浮液密度等设定为恒量，通过模拟计算发现砂浆密度的变化趋势和砂浆缸里面硅粉含量的变化趋势一致，在基础设置数据的基础上，发现在切割至第五刀时砂浆密度以很小的幅度增加。通过对数据的的回归分析，得出砂浆密度计算公式。影响砂浆密度的主要因素有：槽距，单位面积更换系数，新砂浆配置密度。控制砂浆密度在合理的范围内，可保证切割过程的稳定性及硅片质量。 ? ? 　　多线切割中，在设备和人员操作稳定的情况下，切割质量和成品率主要取决于砂浆能力。现在国内多数切片企业，在切片时所用砂浆上，主要控制密度和粘度两个指标指标。下面就影响砂浆密度的主要因素进行分析。 ? 　　一、砂浆密度变化规律 　　影响密度的主要因素有,配制密度,更换系数,槽距.影响砂浆密度变化的是切片过程中掉进砂浆里面的硅粉的微粉.随着切割刀数的增加,砂浆密度也会变化，其中必定存在某种函数关系。不同的配制密度,更换系数,槽距会对砂浆的密度变化有多大影响.接下来,我会对这些问题进行阐述. ? 　　1、初始设定 　　为进行模拟计算，对一些主要参数进行初始设定，包括碳化硅的密度，PEG的密度，硅密度，8寸晶片的面积，经验更换系数，片厚和槽距等，所设置的初始值如表1-1所示意。 　　?????????????????????????