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* 压电加速传感器 压电式加速度传感器 压电式加速度传感器是一种常用的加速度计,占所有加速度传感器的80%以上。因其固有频率高,有较好的频率响应(几千赫至几十千赫),如果配以电荷放大器,低频响应也很好(可低至零点几赫)。另外,压电式传感器体积小、重量轻。缺点是要经常校正灵敏度。 1.结构和工作原理 压电加速度传感器结构形式主要有压缩型、剪切型和复合型。 1)压缩式 常见的压电式加速度传感器的结构一般是利用压电陶瓷的纵向 效应,图示为压缩式压电加速度传感器的结构原理图。测量时,将传感器基座与试件刚性固定在一起。当传感器感受振动时,因 质量块的质量m相对被测物体的质量M小得多,因此传感器的质量m感受到与传感器基座M相同的振动,并受到与加速度a方向相反的惯性力,此力为F=ma。惯性力作用在压电陶瓷上产生的电荷: Q=d33.F=d33×m×a 当振动频率远低于传感器的固有频率时,传感器的输出电荷(电压)与作用力成正比,亦即与试件的加速度成正比。 压缩式的压电式加速度传感器的其它结构 (a)中央安装压缩式 (b)隔离基座压缩式 (c)隔离预载筒压缩式 (d) 倒挂中心压缩型 2)剪切型 与压缩式加速度传感器相比,剪切式加速度传感器是一种很有发展前途的传感器,并有替代压缩式的趋势。 (a) 环形剪切式结构 (b) 扁环形剪切式结构 (c) H形剪切式结构 (d) 三角形剪切式结构 3)复合型 剪切-压缩复合型 (a) 断面图 (b) X和Y方向加速度检测原理图 (c) Z方向加速度检测原理图 一种压电式三向加速度传感器断面图 (2) 组合一体化压电加速度传感器 (3)弯曲型压电加速度传感器 压电加速度传感器实物图 技术指标 以某小型“内装IC的压电加速度传感器”为例 灵敏度:500mV/g 量程:10g 频率范围:4-4000Hz安装谐振点:15kHz 分辨力:0.00004g 重量:40g 安装螺纹:M5 mm 线性:≤1% 压电加速度传感器的安装及使用 a)双头螺丝固定 b)磁铁吸附 c)胶水粘结 d)手持探针式 1—压电式加速度传感器;2—双头螺栓;3—磁钢;4—粘接剂;5—顶针 2.灵敏度 电压灵敏度: 电荷灵敏度: 因为: 所以: 由质量块上的力与加速度的关系: F=ma (N) 以及: Q=d33F 可知压电式加速度传感器的电荷灵敏度和电压灵敏度: 加速度传感器可以简化成质量块,阻尼器 ,弹簧组成的二阶单自由度系统。 质量块m xm(t) 阻尼器c 弹簧K 运动体 x(t) x(t) ——运动体的绝对位移; xm(t) —— 质量块的绝对位移; 3. 动态特性 *
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