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微细电解加工的最新进展 Photolithography -Electroforming - Pulse Electrochemical Machining: An Innovative Process Chain for the High Precision and Reproducible Manufacturing of Complex Microstructures 光刻-电铸-脉冲电化学加工：一种用于复杂微细结构的精密且可重复制造的新型的工艺链 作者: Weinmann, Martin; Weber, Olivier; Baehre, Dirk; 等. 1.光刻构建 2.显影 微细电解加工的最新进展 3.注塑硅胶 5.形成基底 4.脱模 6.形成导电层 微细电解加工的最新进展 7.用电铸得到工作电极 9.用所得到的工作电极进行电解加工 8.工作电极脱模 微细电解加工的最新进展 下表为通过3D扫描得到的不同步骤中条纹的形状参数，我们可以发现通过这种新的工艺链能够得到精度很高的工作电极，并且组成这种工艺链的每个步骤都比较容易实现，成本也比较低。 微细电解加工的最新进展 微细电解加工的最新进展 同步超声振动调制微细放电-电解加工技术* 朱永伟1 邵 健1 苏 楠1 云乃彰2 对超声频振动与微细电加工电源的“开、断”方式进行分析、探讨。用激光传感器实时测量超声振动，可得斩波脉冲，能对电源进行有序“开、断”控制, 实现超声振动与电源“开、断”实时同步； 完善同步超声复合微细电加工系统，采用复合乙醇工作液、微细半导体混粉, 可实现超声调制放电-电解复合微细加工，在保证加工精度、表面质量同时，提高加工过程稳定性与加工效率。 下图是通过不同的超声电解方式得到的微细阵列圆形微凹坑显微照片 微细电解加工的最新进展 微细电解加工的最新进展 (1) 用激光微位移传感器进行超声振动参数实时测量，能可靠实现微细电源“开、断”与超声频振动的高精度实时同步。 (2) 证明了同步超声复合电解加工有良好的加工稳定性，相比其他超声及超声非同步复合加工方式，在精度、表面质量方面更具技术优势。 (3) 采用低电压、低电导率、微细掺粉工作液，利用超声、放电、电解等多效应复合作用，可实现同步超声复合放电-电解加工，能保持加工过程持续稳定，易于实现高精、高效加工。 微细电解加工的最新进展 用高转速微电极电解钻削深小孔 刘勇，曾永彬 文中针对难切削材料的深小孔加工，提出了一种有效排屑，迅速补充电解液的新工艺----高转速微螺旋电解转削加工工艺，并对该工艺进行了机理分析与试验研究。研究了电极转速、电压、脉冲频率，进给速度等工艺参数对深小孔电解加工精度和稳定性的影响。 微细电解加工的最新进展 微细电解加工 微细电解加工的研究背景 微细电解加工的原理 微细电解加工的发展现状 微细电解加工的最新进展 微细电解加工的研究背景 科学技术以及微机电系统（MEMS）的不断发展，要求零件尺寸越来越向微小型化方向发展。作为实现零件尺寸微型化的关键技术——微细加工及其相关领域的研究和应用越来越受到重视与关注，特别是微轴、微孔、微细异型孔、微细槽、群孔、群缝等的加工。此外，由于一些特种加工，如：电火花加工、电子束加工等加工方式会产生大量的热量，使得金属发生变形和表面恶化。因此，微细电解加工的应用变得越来越广泛，尤其在航空航天，精密仪器，生物医学等领域得到了很大的关注。 微细电解加工是电解加工的一种形式，它是基于电解加工以离子的形式对材料进行去除的特点上发展起来其加工尺寸一般为几个μm～999μm之间，这种加工具有工具无损耗、生产效率高、加工表面质量好以及与材料硬度无关等优点。微细电解加工中，工件阳极金属不断地失去电子成为离子而溶解到电解液当中去，同时在阴极有氢气放出，这种微溶解方式使得其在微细精密制造领域有着很大的发展潜力。 微细电解加工的原理 微细电解加工的原理 微细电解加工的发展现状 掩膜微细电化学加工，是将光刻技术与电化学加工技术相结合的一种微细电化学加工方法，能加工出微米甚至亚微米级的复杂形状，它原理是在工件表面（单面或双面）涂敷一层光刻胶，经过光刻显影后，工件上形成具有一定图案的裸露表面，然后通过束流电解加工或浸液电解加工，选择性地溶解未被光刻胶保护的裸露部分，最终加工出所需形状的工件。 一、掩膜微细电解加工 微细电解加工的发展现状 为了提高加工精度，还开展了双面掩膜法微细电解加工的研究，在工件两面都覆盖一层图案完全相同的掩模，从两边方向同时进行溶解。 微细电解加工的发展现状 二、电液流微细电解加工 电液流微细加工是在金属管电极加工小孔的基础上发展起来的一种微细电解加工方法，主要用于加工航空工业中的各种小孔结构。电射流加工时，被加工工件接正极，在呈收敛形状的绝缘玻璃管喷