第11章压电传感器.ppt.pptVIP

第11章 压电传感器 * * 电子信息及电气工程系 11-1 压电传感器的工作原理 一、压电效应 1、正压电效应： 沿某些电介质的一定方向施加力而使之变形时，内部产生极化现象，两个表面产生符号相反的电荷，去掉外力后复原。 2、逆压电效应： 在介质的极化方向施加（交变）电场，它会产生机械变形，取掉外加电场后变形消失。 3、压电效应是可逆的。 以压电效应为基础制作的传感器，又称为发电式传感器、双向传感器、有源传感器。 二、石英晶体的压电特性 1、结构：单晶体，六角形晶柱 Z轴：3，纵向轴，光轴，无压电效应； X轴：1，经过正六面体棱线，垂直于光轴 电轴（纵向压电效应） Y轴：2，垂直于X、Z轴，机械轴（横向压 电效应） 2、计算 dmn m—产生电荷的面的轴向 n—施加作用力的轴向 1）压电晶体切片在X方向受压缩力σx作用，产生厚度变形： 极化强度Px = d11 σx = d11 Fx/lb = qx / lb 则： qx = d11 Fx 与尺寸无关。 2）沿y方向施加力Fy ，产生长度变形： 极化强度Py = d12 σy = d11 Fy/hb = qx / lb 则： qx = d12 Fy lb/ hb = d12 Fy l/ h 与尺寸相关