第四章扫描电子显微镜分析报告.pptVIP

第二节 扫描电子显微镜 　 TEM 一、 扫描电镜的优点 二、电子束与固体样品作用时产生的信号 三、 扫描电镜的工作原理 四、扫描电镜的构造 五、扫描电镜的主要性能 六、扫描电镜衬度像 二次电子像、背散射电子像 七、样品制备 八、应用举例 扫描电子显微镜（SEM）以较高的分辨率和很大的景深清晰地显示粗糙样品的表面形貌，并以多种方式给出微区成分等信息，用来观察断口表面微观形态，分析研究断裂的原因和机理，以及其它方面的应用。 SEM image (beetle) 　　 二次电子是被入射电子轰击出来的核外电子。 　　 　　 电子射入试样后，受到原子的弹性和非弹性散射，有一部分电子的总散射角大于90°，重新从试样表面逸出，称为背散射电子。 三、 SEM的工作原理 日立公司场发射枪扫描电镜 四、构造 扫描电子显微镜由六个系统组成： 1、电子光学系统(镜筒) 2、偏转系统 3、信号检测放大系统 4、图像显示和记录系统 5、电源系统 6、真空系统 1、电子光学系统 由电子抢、电磁聚光镜、光阑、消像散器、等部件组成。 它的作用是将来自电子枪的电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束(直径一般为10nm或更小)来轰击样品，使样品产生各种物理信号。 电子枪 表10-1 几种类型电子枪性能比较 2、偏转系统 作用：使电子束产生横向偏转，包括用于形成光栅状扫描的扫描系统，以及使样品上的电子束间断性消隐或截断的偏转系统。 偏转系统可以采用横向静电场，也可采用横向磁场。 3、信号检测放大系统 作用：收集(探测)样品在入射电子束作用下产生的各种物理信号，并进行放大。 不同的物理信号，要用不同类型的收集系统。 闪烁计数器是最常用的一种信号检测器，它由闪烁体、光导管、光电倍增管组成。具有低噪声、宽频带(10Hz~1MHz)、高增益(106)等特点，可用来检测二次电子、背散射电子等信号。 二次电子运动轨迹 　 背散射电子运动轨迹 二次电子和背散射电子的运动轨迹 　　　　单个电子探测器对粗糙表面发射的背散射 　　　　电子（实线）和二次电子（虚线）的收集 4、图像显示和记录系统 作用：将信号检测放大系统输出的调制信号转换为能显示在阴极射线管荧光屏上的图像，供观察或记录。 5、电源系统 作用：为扫描电子显做镜各部分提供所需的电源。 　由稳压、稳流及相应的安全保护电路组成 。 6、真空系统 作用：确保电子光学系统正常工作、防止样品污染、保证灯丝的工作寿命等。 五、SEM的主要性能 1、放大倍数 　　由于扫描电镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的扫描幅度来实现的。 　　如果减少扫描线圈的电流，电子束在试样上的扫描幅度将减小，放大倍数将增大。调整十分方便，可从20倍连续调节到20万倍左右。 SEM的主要性能 2、分辨率 　　分辨率是扫描电镜的主要性能指标。对成像而言，它是指能分辨两点之间的最小距离；分辨率大小由入射电子束直径和调制信号类型共同决定：电子束直径越小，分辨率越高。 　　　一般SE的分辨率约为5-10nm 影响SEM图像分辨率的主要因素有： ①扫描电子束斑直径 　入射电子束束斑直径是扫描电镜分辨本领的极限。 热电子枪的最小束斑直径6nm 场发射电子枪束斑直径小于3nm 不同的物理信号调制的扫描象有不同的分辨本领 ②入射电子束在样品中的扩展效应 ③操作方式及其所用的调制信号； ④信号噪音比； ⑤杂散磁场； ⑥机械振动将引起束斑漂流等，使分辨率下降。 3、景深 　　景深是指一个电镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。 扫描电镜的末级透镜采用小孔径角，长焦距，所以可以获得很大的景深，它比一般光学显微镜景深大100-500倍，比透射电镜的景深大10 倍。景深大，立体感强，形态逼真是SEM的突出特点。 六、 像衬原理与应用 　　像的衬度就是像的各部分(即各像元)强度相对于其平均强度的变化。 　　 SEM可以通过样品上方的电子检测器检测到具有不同能量的信号电子有背散射电子、二次电子、吸收电子、俄歇电子等。 1、二次电子像衬度及特点 二次电子信号主要来自样品表层5~10nm深度范围，能量较低(小于50eV)。 影响二次电子产额的因素主要有： (1)二次电子能谱特性； (2)入射电子的能量； (3)材料的原子序数； (4)样品倾斜角?。 二次电子像的衬度可以分为以下几类： (1)形貌衬