薄膜的生长过程和薄膜结构.pptVIP

薄 膜 织 构 薄 膜 织 构 借助图5.22可以理解，当两个晶面的夹角大于90°时，生长速度较快的晶面会随着时间的延长而逐渐减小，而生长速度较慢的晶面则会不断长大。 借助图5.22也可以理解，在薄膜沉积的情况下，当晶粒中生长速度最快的晶向与衬底表面垂直时，这一晶粒将会在与其它晶粒竞争生长的过程占有优势。而整个薄膜也会由于这些取向的晶粒的优先生长而形成相应的取向织构。因此，薄膜织构的形成过程就是各种取向的晶粒竞争生长的过程，生长速度较低的晶粒将会被其它的晶粒所掩盖，而生长速度最快的晶体学方向会成为薄膜的织构方向。这种由竞争性生长逐渐形成的薄膜织构与衬底的取向无关。在这种织构中，各晶粒只是在薄膜法线这一方向上取向一致。因此它又称为纤维状织构。显然，若可以利用改变生长条件的方法改变不同晶向的相对生长速度，就可以有目的的选择所需要的薄膜织构。 薄 膜 织 构 薄膜的外延生长 在实际的单晶薄膜生长方法中，除了适当提高衬底温度、降低沉积速率之外，还要采用高度完整的单晶表面作为薄膜非自发形核时的衬底。这种在完整的单晶衬底上延续生长单晶薄膜的方法被称为外延生长。单晶的外延可被分为两类，即同质外延和异质外延。同质外延衬底与被沉积的薄膜同属于一种材料；异质外延则是衬底材料与被沉积材料属于不同的材料。 1、点阵失配与外延缺陷 薄膜的外延生长要求薄膜与衬