激光微加工系统3教案分析.ppt

Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司 激光微加工系统 激光微加工系统 激光微加工 准分子激光微加工 飞秒激光微加工 激光微加工 微加工的概念 微细加工( micro-fabricat ion) 起源于半导体制造工艺, 是指加工尺度在微米级范围的加工方式, 在微机械研究领域中, 它是微米级, 亚微米级乃至纳米级微细加工的通称。 Microfabrication 微细加工（结构，功能，性能） Micromachining 精细加工（尺寸精确，机械加工） 区别于传统的激光加工 激光微加工区别于传统的激光焊接、切割、打孔、表面改性等，包含范围非常广，能无限激发人的创造力。 微加工分类 微细加工方式十分丰富, 包含了各种现代特种加工, 高能束等加工方式。而微机械制造过程又往往是多种加工方式的组合。目前, 常用的有以下方法: 激光微加工常用方法 激光微加工 激光微加工 优势 使用灵活 工艺简单 材料广泛 系统多用 激光微加工 准分子（Excier）微加工 准分子激光由于具有波长短(〈250nm) , 聚焦直径小, 功率谱密度高, 且属于冷光源等优点而成为最有前途的激光源。准分子激光蚀刻技术是当前激光微细加工最先进的技术之一。目前常用的有氟化氩准分子激光和氯化氙准分子激光。. 飞秒（Femto）微加工 飞秒激光微加工是当今世界激光、光电行业中极为引人注目的前沿研究方向。 因其具有能耗低，加工材料广泛，高精度，高质量，高分辨率，对环境没有特殊要求，无污染等特点，推动激光微加工向低成本，高可靠性，多用途，产业化方向发展。 准分子激光微加工 特点 高分辨率 高精度 高能量密度 “冷”光源 直径小 OPTEC简介 OPTEC专业使用准分子和脉冲激光设计和搭建微加工系统。与ATL和GSI Lumonics密切合作超过15年，提供一切系统组件，小型工作站，交钥匙工业应用。 OPTEC提供一站式解决集成加工知识，创新功能，客户定制和工业可靠性。 OPTEC的加工系统正在全球推行，他们与合作正在密切合作。 OPTEC准分子激光加工系统 OPTEC主要加工系统型号： MicroMaster ProMaster LSV3 MAS300 LightBench-Rx LAP2000 Processing Tools Laser Trimming Tools MicroMaster MicroMaster Mask — 掩膜 BDU — 光束传输装置 Motion — 位移台 Laser — ATL准分子激光器 Vision — 双相机所见即所得系统 Lens — 紫外微加工透镜 Software — ProcessPower 软件 MicroMaster 规格 激光 波长 248nm（193nm可选） 脉冲能量 14mJ 在248nm(10mJ 在193nm) 重复频率 300Hz（500Hz可选） 脉宽5-6ns 光斑4×6mm 发散2×1mrad MicroMaster 规格 光束传播 能量控制 5-95% 缩倍4-20 紫外光学分辨率 ＜1.5mm 焦距 25mm 目标能量密度 0.25-10J/cm2，使用光束汇聚选件可达25J/cm2 视场 离轴40X，同轴150-500X由透镜缩倍决定 MicroMaster 规格 加工对象定位 XY移动 200×200mm XY分辨率 1mm XY重复定位精度 1mm XY速度 40mm/s MicroMaster 特点： 激光光束亮度高且短脉冲 掩模投影缩倍由电脑控制，连续可变 X,Y定位于刚性花岗岩上，线性驱动，分辨率为1μm 机动焦点控制（沿Z轴） 配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选 功能全面的PcoessPower软件 CAD/CAM界面 快速响应时间，易于操作的软件程序 MicroMaster 性能： 材料对紫外激光微加工具有最小的热影响区，包括包括各种不同的聚合物，陶瓷，玻璃，金属，薄膜。在248nm和193nm之间可以使用光学转换套件。 加工典型特征值为5mm-2mm。掩模选择可以通过32图案掩模板，和/或电动矩形光阑进行。可以组合图案。复杂图案模式可以通过控制激光发射和零件移动来实现。 MicroMaster 性能 选择加工效果最佳缩倍（ 4-20X ），全自动（MicroMaster独有的特点） 能量密度为0.25-10J/cm2,良好的软件程序辅助选择最佳工艺参数。 光学分辨率1.5mm， 材料和能量密度定义了 MicroMaster 应用： 选择性的去除聚合物 微型钻孔/开槽 微铣削/表面结构