甲醛气体传感器的研究教案分析.pptVIP

(一)甲醛气体传感器的结构 1、构造：由敏感元件、转换元件和测量电路三部分组成。其中敏感元件是用来感受甲醛气体的元件，是传感器的核心元件。转换元件是将甲醛信号按一定规律转化成可用输出电信号的元件。为转化元件提供电能并将输出的电信号转化成光信号、声音信号或数字显示信号的部分称作测量电路。 2、核心部件——敏感元件 （1）种类很多 按材料物态可分为干式和湿式两大类： 干式气体传感器构成气体传感器的材料是固体，有接触燃烧式、半导体式、固体电解质式、红外线吸收式、导热率变化式。 湿式气体传感器是利用水溶液或者电解液来感知待测气体，有极谱式和原电池式 （2）半导体式甲醛气敏传感器 从组装结构上看，半导体式甲醛气敏传感器通常由气敏元件、加热器和封装体等三部分组成。 从制造工艺上看，半导体式气体传感器可分为烧结型、薄膜型、厚膜型和多层结构型四类。 （3）烧结型气敏器件 以金属氧化物半导体材料为基体，将铂电极和加热丝埋入金属氧化物半导体材料中，经加温、加压，利用700～900℃的制陶工艺烧结成形。 （4）两种烧结型气敏元件 根据加热方式，烧结型气敏元件可分为直接加热式（内热式）和旁热式两种 。 内热式：测量电路与加热电路 是同一回路。热容量小、稳定性差，测量电路与加热电路间易相互干扰 。 旁热式：测量电路与加热电路 不是同一回路。热容量大、稳定性好，测量电路与加热电路间不相互干扰 。 以SnO2为例 ：内热式气敏元件的结构和符号 以SnO2为例 ：旁热式气敏元件的结构和符号 （二）甲醛气体传感器的材料 1、半导体气敏材料： 某些半导体材料在于某些气体接触后，电阻率发生变化，导致电阻发生变化，这样的半导体我们称之为半导体气敏材料。 2、气体敏感元件，大多是以金属氧化物半导体为基础材料。 3、对甲醛气体敏感的金属半导体材料：SnO2、ZnO、MgO、TiO3、Fe2O3、WO3、Al2O3等 4、分类 按构成甲醛气敏传感器的材料可分为半导体和非半导体两大类。半导体甲醛气敏传感器又按照半导体与气体的相互作用是在其表面还是在内部再分为表面控制型和体控制型两类；按照半导体变化的物理性质：又可分为电阻型和非电阻型两种。电阻型半导体甲醛气敏元件是利用半导体接触甲醛气体时，其阻值的改变来检测甲醛气体的成分或浓度；非电阻型半导体甲醛气敏元件是根据对甲醛气体的吸附和反应，使其某些有关特性变化对甲醛气体进行直接间接检测。 （三）甲醛气敏传感器的敏感机理 半导体材料有多电子的N型半导体和多空穴的P型半导体两种，甲醛是还原性气体。当甲醛吸附到N型半导体表面时，与材料发生氧化还原反应，由于甲醛是还原性气体，在反应 中提供电子，N型半导体的载流子是电子，得到甲醛提供的电子后，载流子数目增多，相当于材料的电阻减小。当甲醛吸附到P型半导体表面时，同样在材料表面发生氧化还原反应，甲醛依然提供电子，但P型半导体的载流子是带正电的空穴，很多空穴和甲醛提供的电子中和，导致半导体材料的载流子数目减少，相当于使材料的电阻变大。半导体材料表面吸附甲醛后导致电阻变化，我们通过测量电路测定半导体材料的阻值变化引发的电路中电压和电流的变化来衡量甲醛气体的各项指标，这便是甲醛气敏传感器的敏感机理。下图为N型甲醛气敏元件对甲醛气体的敏感原理图。 （四）甲醛气敏传感器的研究现状 1、压电类甲醛气敏传感器早已已制备成功，但容易受到水分子的影响而使晶体振动频率发生漂移，没有实用性。 2、比色分析法 和电化学原理甲醛气敏传感器也研制成功，但设计复杂、选材极多并要求很高，离普遍使用的要求尚有较大差距 。 3、金属氧化物半导体是普通且廉价的气敏材料 ，是甲醛气体传感器研究的重点方向 。 金属氧化物甲醛气敏传感器 气体传感器的核心部件是传感器元件中的气体敏感材料。自从发现CuO的电阻随水汽的吸附而改变后，人们便开始关注半导体金属氧化物作为气敏材料。至今，人们已发现某些氧化物半导体材料如SnO2、ZnO、Fe2O3、MgO、NiO等都具有气敏效应，经研究得出：SnO2 、ZnO、Fe2O3是气体传感器的三大基系材料。因此，我们可以用这三大基系材料制造甲醛气敏传感器。 （一）SnO2甲醛气敏元件 SnO2是一种N型半导体，空气中的氧被吸附在气敏元件上，形成高阻状态。若遇到还原性气体时，还原性气体与已经吸附的氧反应，使氧脱离吸附表面，从而使接触部分的势垒下降，粒子间能移动的电子数增加