高分辨电镜分析报告.ppt

High Resolution Electron Microscopy  Coherent Imaging Techniques 高分辨电子显微镜相干电子显微原理 王剑华 昆明理工大学材料学院 高分辨电子显微镜的应用——晶格像 晶界 晶格条纹像的形成过程 当只有透射束和一个强衍射束参加成像时，两电子束干涉得到条纹像 高分辨电镜的一维晶格像 Bi-Sr-Ca-Cu-O，结合衍射图可知参与衍射的晶面 晶格条纹像的形成过程 当有透射束和两个以上强衍射束参加成像时，多个电子束干涉得到晶格像 高分辨电镜的应用-相界 晶格像可以轻松显示相界位置，结晶状态 高分辨电镜的成像过程 样品对入射电子波的调制，导致样品出射波函数中携带了样品原子排列信息（本部分在电子衍射物理中讨论） 样品出射波经过物镜系统传递到像平面上，得到高分辨电子显微像（即样品出射波函数经过传递函数处理后得到像函数） 阿贝成像原理 1）样品出射波可以分解为不同空间频率的子波，各个子波在成像系统中独立传播。 2）图像由透镜调制后的各个子波合成得到 3）图像质量取决于收集到的子波数目和透镜对各子波传递质量 由于高角度散射穿过电磁透镜时存在很大相差，因此我们希望收集低角度子波。但是： 如果只收集低角度的电子束成像必然造成样品信息丢失 高角度（高频率）上的电子衍射束影响着图像的质量； 成像系统中的信息传递过程 成像过程就是传递函数对样品出射波的调制 衍射波合成的数学处理——傅里叶变换 衍射波合成的数学处理——傅里叶变换 理想透镜成像过程的数学描写：傅里叶变换 透镜成像过程的数学描写——线性成像系统 每个子波单独传播，分别受到传递函数的调制 第二次反傅里叶变换，衍射束子波合成得到图像 整个图像是所有这些分波叠加的结果 高分辨成像过程描述——小结 样品射出波包含样品信息对电子波的调制 成像的目的是在观察面上尽量复原样品的信息 波在成像系统中的传播是样品信息传递的过程，成像系统可以用信息传递函数描写 理想传递系统的物与像成比例，即样品出射波与图像波函数为T(K)＝1，实际成像系统图像将发生非比例变化 电镜成像可以用阿贝成像原理描述 图像射出波可以分解为不同空间频率的子波。各个子波在成像系统中独立传播。 图像质量取决于收集到的子波数量，以及透镜对各子波传递质量 传递函数——操作条件对成像的影响 综合各影响部分的传递函数表达式： 传递函数是复变函数 每个子波的相位都被改变，产生附加位相角 传递函数 T(K)的函数图像及特点 由于Cs和f等因素变化，T(k)是振荡函数，意味着散射到不同角度的电子束将会有不同的相位变化，导致最终图像上的明暗随散射角度改变 传递函数分析——离焦 传递函数分析——离焦 最佳欠焦条件 也称为Scherzer成像条件，可以获得最大图像衬度， 计算公式为 传递函数分析——离焦 离焦量对实际拍摄图像的影响Si [0-11] 离焦量20nm到-90nm 间隔10nm 传递函数分析——离焦 离焦的作用等同于对不同空间频率分波附加一个相位因子 观察图中的等相位面的变化可以看出： 附加相位大小正比于散射角 传递函数分析——物镜球差 2、球差 电磁透镜中存在正球差，不可消除 目前的电镜球差系数为： Cs = 1.0 mm 降低物镜的球差，可提高参与成像的空间频率，从而提高图像分辨率 传递函数的构成与物理起因 球差: TCs Spherical Aberration coefficient 球差Cs造成高空间频率分波较大的光程差，形成附加相位因子 最佳欠焦条件下的成像与入射电压的关系 3、电压 一阶通带越宽，可直接分析的高分辨图象的点分辨率越高 提高电压可以有效提高分辨率 高频通带可通过物镜光栏来约制，从而提高可直接分析的高分辨图象的衬度 传递函数的构成与物理起因 3. 光栏 ——有限物频带宽 透镜的光栏函数: A(q) 电子源，电子探测器的有限尺寸等同的虚设光栏 传递函数的构成与物理起因 4. 色差： 电子波长变化会引起图像高空间频率部分的快速减弱，用包络线函数表示，效果等同于光栏作用， 入射电子束的波长稳定性取决于电压稳定和电子枪性质 场发射枪得到电子源具有最好的相干性 小 结 高分辨电镜的成像过程是信息传递函数对样品出射波的调制过程 理想透镜的信息传递是线性传递过程 现有透镜存在球差，信息传递是非线性传递过程，记录图像反映的信息不具有直观性 电镜的聚焦位置（离焦量）也可以改变传递函数，使图像衬度分布完全不同 高分辨电镜衬度原理：相干电子束干涉得到相位衬度像。 电子波的相位不仅来自样品，离焦、球差等因素使每个子波的附加相位不同，使记录图像的解释复杂 高分辨电镜图像 1. 晶格条纹 Lattice Fringe 不要求对准晶带轴