生物医学传感器压电式传感器要点分析.ppt

解决电缆问题 将放大器装入传感器中，组成一体化传感器。 压电式加速度传感器的压电元件是二片并联连接的石英晶片，放大器是一个超小型静电放大器。这样引线非常短，引线电容几乎等于零就避免了长电缆对传感器灵敏度的影响。放大器的输入端可以得到较大的电压信号，这样弥补了石英晶体灵敏度低的缺陷。 压电式加速度传感器 压电式传感器测量电路 运算放大器输入阻抗极高， 放大器输入端几乎没有分流，故可等效成略去Ra和Ri并联电阻的电路。 二、电荷放大器 压电式传感器测量电路 电荷放大器是一种输出电压与输入电荷量成正比的前置放大器。利用电容作反馈元件的深度负反馈的高增益运放。 通常A=104~108，当满足(1+A)CrCa+Cc+Ci时，则有 1、电荷放电器输出电压 电荷放大器等效电路 反馈电容Cr折合到放大器输入端的有效电容为(1+A)Cr。电荷放大器的输出电压为 几点结论： 1、电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电容有关，而与放大器的放大系数的变化或电缆电容等均无关系， 2、只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷量q变化成线形关系的输出电压。 3、反馈电容CF小，输出就大， CF一般取值100-104pF。 4、要达到一定的输出灵敏度要求，就必须选择适当的反馈电容。 5、输出电压与电缆电容无关条件： （1+A0）CF（Cd+Cc+Ci） 电荷放大器能将压电传感器输出的高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源（Q/U转换器），而且输出电压正比于输入电荷，可见电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其输入阻抗高达1010~1012Ω，输出阻抗小于100Ω。并无放大电荷的作用，只是一种习惯叫法。 电荷放大器输出电压 压电式传感器测量电路 二、电荷放大器 压电式传感器测量电路 2、电荷放电器的特点 （1）电荷放大器的输出电压只取决于输入电荷与反馈电容，与电缆电容无关，且与电荷成正比。 （2）采用电荷放大器时，即使连接电缆长度在百米以上，灵敏度也无明显变化，这是电荷放大器的最大特点。 （3）输出电压与电缆电容无关条件（1+A0）CF（Cd+Cc+Ci） （4）电路复杂，价格昂贵。 （5）为了得到必要的测量精度，要求反馈电容Cr的温度和时间稳定性都很好。在实际电路中，考虑到不同的量程等因素，Cr的容量做成可选择的，范围一般为102~104pF。 第六章 压电式传感器 （例题） 第六章 压电式传感器 6.1 压电材料 6.2 压电效应及工作原理 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 聚偏二氟乙烯（PVDF）压电式传感器 6.6 压电式传感器应用 二、压电效应的基本原理 d11—压电系数。下标的意义为产生电荷的面的轴向及施加作用力的轴向；a、b、c—石英晶片的长度、厚度和宽度。 3、石英晶体压电效应作用力与电荷关系 若从晶体上沿y方向切下一块晶片，当沿电轴x方向施加应力时，晶片将产生厚度变形，并发生极化现象。在晶体线性弹性范围内，极化强度与应力成正比。 在垂直于x轴晶面上产生的电荷量为 y x z O x z y a c b 压电效应及工作原理 二、压电效应的基本原理 d11 = -d12 ，石英晶体轴对称条件。 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加应力，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷为 y x z O x z y a c b 产生电荷q11和q12的符号，决定于受压力还是受拉力。 3、石英晶体压电效应作用力与电荷关系 压电效应及工作原理 第六章 压电式传感器 （例题） 二、压电效应的基本原理 ① 当晶片受到x方向的压力作用时，qx只与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关； ② 沿机械轴y方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的； ③ 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的； ④ 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ⑤ 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间皆呈线性关系。 4、石英晶体压电效应特点 压电效应及工作原理 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。 材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，有一定的极化方向，从而存在电场。 二、压电效应的基本原理 5、压电陶瓷的压电效应 极化处理前 极化处理后 在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，各自的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。 因此，原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。 压电效应及工作原理 在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外