2014.3第二、三讲激光加工一般原理和基础知识要点讲解.ppt

第三讲 激光加工基础知识 叶云霞 本次课内容 激光加工一般过程 材料的吸收反射特性（表面反射率与相关因素的关系） 热效应 热力效应 力学效应 产生各种效应对激光器要求 激光加工的一般过程 激光加工的物理基础：激光与材料相互作用，它既包含复杂的微观量子过程，也包含激光作用于各种介质材料所发生的宏观现象。 微观过程：电磁场与物质结构的相互作用。 宏观过程：反射、吸收、透射、折射、衍射、干涉、偏振、热效应、光电效应和气体击穿等等。 与吸收相关的因素 波长、温度、材料性质、表面状况、偏振等 归纳激光加工规律 对于金属材料： 波长短，适合激光加工。 温度高，适合激光加工。 表面粗糙，表面有氧化膜，适合激光加工。 电导率低的材料，适合激光加工。 宏观效应 当一束激光照射到材料表面，随着照射时间的延长，将在材料表面和内部引发一系列的物理变化和化学变化过程，即效应不同，即激光加工过程也不同。 激光与材料作用产生的效应（宏观） 热效应 热力效应 力效应 化学效应 热 从微观解释：什么是热？ 电子－－晶格－－大面积发热。 不同的热分布，产生的不同的宏观效果，得到不同加工过程。 产生的热的大小和分布与激光参数密切相关。 不同的加工过程，也对激光加工参数提出了要求。 热力效应 小结 功率密度提高，有利于气化过程的发生； 延长激光连续作用时，有利于熔化过程发生。 如果不需要熔化，则时间和功率密度都不能过高－－如“激光淬火”； 如果需要熔化，避免气化，则功率密度不能过高，延长连续作用时间；－－如“激光焊接、熔覆”等； 如果需要气化，且不需回避熔化过程，则功率密度要高，连续作用时间可以长一点；－－如“切割”和“打孔”。 如果需要气化，且希望尽量避免熔化，则功率密度要高，且连续作用时间不能过长；－－如“激光冲击强化”和“高精度加工” 去除材料过程，一般都需要有熔化和气化；表面处理一般都只有熔化（激光冲击除外）。 补充热加工和冷加工 早期：激光加工以CO2和Nd：YAG为主。 以C02和Nd：YAG激光为代表的激光加工，其原理是基于材料中的电子通过对光子共振线性吸收获得的热能，将材料逐步熔化、蒸发去除。本质上依赖于材料的热学特性，多数属于“热加工方式。 在这一技术中，由于激光与材料相互作用持续时间较长，一般远大于材料的热扩散时间，造成吸收的光束能量不可避免地扩散到周围的区域，对于材料的微加工来说，这一条件绝非理想。 准分子激光系列出现，波长在紫外波段，开始了准分子激光加工的应用研究。 准分子激光加工时，材料通过线性吸收单个光子的能量就可以直接切断其中的分子或原子结合键。其本质上是一种光化学反应，而非热熔化过程，因此热扩散影响较小。一般把准分子激光加工称为“冷”加工。 与C02和Nd：YAG激光加工相比较： 准分子激光由于其波长较短，可以获得尺寸微小的聚焦光斑，更适合于微细加工，但它仍受光学系统衍射极限的限制。目前，准分子激光加工的应用主要有准分子激光光刻、准分子激光烧蚀、准分子激光光敏技术、准分子激光成膜以及准分子激光直写。 飞秒激光，脉冲宽度在fs量级,该时间短于材料的热扩散驰豫时间.热效应非常微弱.非常适合于微细加工。 应用举例 作业 1、 请大家回去查资料，看看激光与材料作用除了力效应、化学效应、热效应以外，还会有什么效应？这些效应的应用举例。 2、激光清洗文物。试分析激光参数，确定功率密度范围和脉冲宽度范围？ 详细解释 宏观热的微观产生机理（后续可扩充，加图或者 动画等） 超短脉冲：电子温度升高，电子气体，气化材料，但是没有热 热致力效应，气化，且热效应小－－功率密度高，但作用时间要短 连续和脉冲，长脉冲还是短脉冲，超短脉冲？ 热加工和冷加工的基础机理和区别，也可放在“激光加工基础理论”介绍 来自于叶瑞芳的博士论文，解释准分子波长短，聚焦光斑小。D=f*theta, theta=4*lambda/(pi*D). 来自于叶瑞芳的博士论文，解释准分子波长短，聚焦光斑小。D=f*theta, theta=4*lambda/(pi*D). 长脉冲作用与短脉冲作用的比较 1.通过热激发或光激发（包括单光子和多光子电离）产生导带电子； 2.导带电子通过焦耳加热和雪崩电离在光场中吸收能量，形成等离子体； 3.等离子体通过电子声子耦合，把能量传递给晶格。 4.晶格被加热，物质融化和升华。 5.物质的热扩散和声冲击波引起周围物质结构变化。 纳秒——微秒脉冲：光脉冲与物质作用时间包含1－5 皮秒——纳秒脉冲：光脉冲与物质作用时间包含1－4 飞秒——光脉冲与物质作用时间包含1－3 材料光学击穿(breakdown) 可以分五个主要过程