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薄膜浅谈
目 录
1薄膜的概念 2
2薄膜的制作方法 2
2.1相关知识及技术 2
2.1.1真空 2
2.1.2入射离子 3
2.1.3等离子体 3
2.1.4微波ECR等离子体源 3
2.1.5溅射现象 3
2.1.6溅射沉积 4
2.3磁控溅射又叫磁控镀膜 4
3薄膜的应用 5
3.1薄膜在光学中的应用 6
3.2薄膜在电子元器件中的应用： 6
3.3薄膜在电子元器件领域的应用 7
3.4薄膜在信息技术领域的应用 7
3.5薄膜在力学领域的应用 7
4总结 7
薄膜制作技术及应用
摘 要:随着薄膜越来越薄，量子效应显现，出现了许多新的性质，为新材料的发展提供了广阔的空间；几种不同性质的薄膜组合在一起，可以克服单一材料的缺点，设计出多功能的材料。薄膜技术在科学技术及国民经济中发挥着巨大的作用。本文综述了薄膜的制作过程中涉及的技术及方法，并详细介绍了物理制膜技术，着重论述了磁控溅射法，及其技术难点，研究方向；并简述了薄膜在光学、电子元器件及力学和信息技术等方面的应用。
关键字：薄膜;薄膜技术;磁控溅射
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The ilm Forming Technology And Its Application
Abstract:As the film thinner, quantum effects appear, there are many new properties, the development of new materials to provide a broad space; a combination of several different types of films together, can overcome the shortcomings of a single material, design more material functions. Thin film technology play a huge role in science and technology and the national economy. This paper reviews the techniques and methods of film production process involved, and details the physical film technology, focuses on the magnetron sputtering, and technical difficulties, research; and outlines the film in the optical, electronic devices and mechanical and information technology and otheand other applications. Keywords: film; film technology; magnetron sputtering;
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4总结
世界膜工业经历了，公司重组、裁员及并购，此后，大多数公司取得不俗的业绩，增长率达两位数，而且，对一些领域的投资进一步增加，薄膜技术会进一步发展，在一些关键领域可能获得突破性的成果，如薄膜电路、薄膜信息储存等领域。可见，薄膜工业的发展日趋激烈，但是前景十分广阔。
参考文献
唐伟忠.薄膜材料制备、技术及应用.冶金工业出版社,2003:1.
杨邦朝.薄膜物理与技术电子科技大学出版社,1994:1.
陈国平.薄膜物理与材料与技术东南大学出版社,1993:1
田民波.薄膜技术与薄膜材料,清华大学出版社，2006：1
黄昆、韩汝琦.固体物理学,高等教育出版社，2005:10.
赵凯华钟锡华.光学,北京大学出版社，2008：50.
吴强.磁性薄膜磁学及热学性质的解析研究重庆：重庆大学，2007
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