表面预处理工艺对多元多层硬质薄膜性能的影响教程分析.doc

开 题 报 告 表面预处理工艺对多元多层硬质 薄膜性能的影响 所属院系： 材料与能源学院 所学专业： 材料学 论文题目: 表面预处理工艺对多元多层 硬质薄膜性能的影响 研究生姓名： 胡 芳 指导教师： 代明江（教授级高工） 开题时间： 2008.12.09 2008 年 10 月 10 日 一、文献综述 1.1 多层膜的概述 1.1.1 多层膜的构成和种类 多层膜(Multilayer films，MLs) 是在单层薄膜基础上发展起来的[1]，是指有两种或两种以上成分或结构不同的薄膜在垂直于薄膜一维方向上交替生长而形成的多层结构[2]。它可以人为设计和制备,从而形成种类繁多，结构各异的一类薄膜材料。薄膜的多层化有利于改善膜层的耐腐蚀性和防止膜层开裂。研究表明,多层膜能获得比单层膜更优越的性能。大量与基体相平行的内界面能起到阻碍裂纹扩展的作用,并且提供位错运动阻力,在增加韧性的同时,镀层的硬度和强度也得以提高[3]。 对于两种不同成分或结构组成的多层膜，每相邻的两层形成一个基本单元，其厚度称为调制周期，用Λ(Λ=lA+lB)表示，调制层A与调制层B的厚度之比称为调制比，用lA：lB表示，通常把周期小于100纳米的多层膜称为纳米多层膜[1]。 近年来，有关多层膜的研究报道, 其中以金属/氮化物(碳化物, 硼化物等)多层膜、氮化物/氮化物多层膜和掺金属类金刚石多层膜的研究居多[5]。 在纳米超硬多层薄膜中,研究最多的是氮化物组成的超硬薄膜。主要原因有三点：首先, 可以在薄膜和晶体之间形成强的附着力；其次, 可以得到化学稳定性高和摩擦系数低的保护膜；另外可以提高薄膜的强度和硬度[6]。 多层膜结构是既能减少内应力又能保证其表面力学性能的一个途径。为避免陡浓度梯度界面的形成,近年来提出了金属→金属碳化物→含金属元素类金刚石。这类膜综合利用了金属碳化物中间层,提高与类金刚石膜及基体的结合力；碳化物层提高膜的承载力及类金刚石顶层减摩自润滑作用的效果。既保持了高硬度、低摩擦,又降低了脆性,提高了承载力、膜基结合力及磨损抗力[6]。 1.1.2 多层薄膜的研究进展 多层薄膜的研究是近30年开展起来的，它是表面工程、薄膜技术深入发展的结果。由于它与材料科学、真空技术、表面物理、电子离子物理有着密切关系，所以近年来从理论、制备工艺、设备研制分析测试技术到应用， 已经形成一个系统的研究领域。国际上发达国家的多层膜研究进展迅速。70年代起美国的西北大学、斯坦福大学、玻克莱实验室等单位先后成立了多层膜研究的攻关课题组，对金属多层膜进行研究；西欧的德、法、英、荷等国对多层膜的研究亦发展较快．1993年这几个国家的科学家组成多层膜研究的联合体、交流研究成果，分析美国，日本的研究动向，并得到欧共体的支持。日本的研究进展较快，日本政府大量拔款支持多层膜的研究[4]。 1939年Brenner首次用电沉积方法制备了Cu-Bi多层金属合金，从此电化学方法制备金属多层膜的研究引起了众多学者的关注。1988年法国的Alber Fea发现了不同金属交替排列的多层膜具有巨磁阻效应，引起了各国物理学家和材料学家对金属多层膜研究的极大兴趣[2]；类金刚石(DLC)膜是近二十年来发展起来的一种超硬膜[11-12]。同时期，人们发现将金属粒子掺入到DLC晶格中能显著降低薄膜的内应力 ，对Me-DLC进行了广泛研究．很多金属粒子已经被用来掺入到DLC膜中，主要包含IV-VII族元素中能与碳形成碳化物的一些金属，特别是Ti，Cr和W[7]。1997年美国的Voevodin A A [8]提出沉积超硬DLC涂层的结构设计为Ti-TiC-DLC 梯度转变膜,使硬度由较软的钢基体,逐渐提高到表层超硬(60～70GPa) 的DLC膜。这种结构进一步发展为：在Ti-TiC-DLC 梯度层上覆以多层Ti、非晶态DLC 共同构成的纳米级厚度复合结构层,就得到Ti-TiC-DLC-n×[ Ti-DLC]多层膜。多个具有低弹性模量的金属(Ti) 层过渡而形成的复合结构层虽降低了硬度,但却起到了缓冲应力、阻止截面微裂纹萌生、进而提高膜基结合力及膜的整体韧性的作用[9] 我国多层膜的研究自80年代开始，主要在研制软X射线光学多层膜方面取得初步成果在长春光机所、复旦大学、中国科技大学、上海光机所等单位开展了这方面的研究[4]。目前多层膜的研究主要集中在磁性多层膜、纳米多层膜与超晶格等领域[10]。 近年来，多层膜的研究更加深入．具体表现在以下几方面[3]： 1)作为人工合成的