金面蚀刻辘痕跟进汇报1.docVIP

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金面蚀刻辘痕跟进汇报1

金面轆痕不良跟進匯報 刘春生 onpress 前言 隨著著我廠對品質要求的不斷提高,蝕刻轆痕成為改善的重點對象。 為此,本部門做了本次跟進。 二、問題現狀   轆痕圖片 問題形成機理 1、蝕刻藥水配方和蝕刻機理 在演示形成機理前,需要先介紹下蝕刻藥水的成份和反應機理 蝕刻藥水的基本配方 A、國外主要三種配方如下: B、國內主要三種配方如下: 蝕刻反應機理 CuCl2+4NH3→Cu(NH3)4Cl2 Cu(NH3)4Cl2+Cu→2 Cu(NH3)2Cl ----蝕刻銅反應 2 Cu(NH3)2Cl +2NH4Cl+2NH3+1/2O2→Cu(NH3)4Cl2+H2O ----藥水再生反應 生產中看到藥水反應的表現 反應中,生產的Cu1+(CuCl)不溶解於水中,需要跟氧氣反應生產Cu2+才容易溶解於水中,但是Cu1+能溶解於氨水、鹽酸。 1.4、實驗室模擬 a、蝕刻藥水污染轆仔  通過藥水對比,發現蝕刻藥水氨水揮發後,會出現沉澱。該沉澱量大會黏附蝕刻轆仔上,進而黏附金面上。 b、補加氨水實驗理論 加氨水後的效果圖: 中可以看到,滴加氨水後,渾濁的蝕刻藥水又恢復清澈。 2、生產中轆痕產生的機理 2.1、生產中轆仔表面 從工作缸內拆下的轆仔 入蝕刻缸前的轆仔 入蝕刻缸前的壓轆 蝕刻缸內轆仔 通過生產線轆仔,明顯看到有很多CuCl/CuCl2的結晶。 2.2、板面形成轆仔痕模擬 由於蝕刻藥水在反應時會生成大量的CuCl,CuCl黏附轆仔上,轆仔會反粘在板面上。 轆仔表面 轆仔滾過的金面 通過模擬,看到蝕刻轆仔會將CuCl黏附金面上。 四、改善方案 通過機理分析,可以看到,蝕刻必然會產生藥水結晶黏附板面,但是氨水(鹽酸)可以溶解部分結晶。根據該原理,針對生產線進行改善該問題。 生產線存在突出問題 1.1、設備存在問題   1.2、藥水控制不完善     09年制定的指引規定,鹽酸缸換缸量為1200+/-200尺,實際生產中每天產量為17000尺左右,增加生產部操作難度。   2、改進對策 2.1、增加設備   在氨水洗缸,流程部安裝新的氨水補加器---已經完成 2.2、蝕刻缸後增加壓水轆。      2.3、酸洗缸控制更改 A、開缸量更改,按上限開缸 B、生產中增加補加藥水     五、總結和建議 通過以上跟進和行動,目前生產出來的板已經能達到QA的要求,不需清洗板面即可行下工序,而且經過多次與QA一起試板,不會對後工序造成影響。   對該問題,需要將轆仔由平粗面轆仔改為圓椎型光面小轆仔,減少與板面接觸面,將更加好的改善轆仔問題。 跟放大400倍 跟放大400倍 明顯看到蝕刻成份殘留 蝕刻缸出來沒有壓水轆 蝕刻缸藥水大量帶到氨水缸 增加一對壓水棉轆,減少過多蝕刻藥水流入氨水缸 氨水缸渾濁,難溶解藥水生產結晶 跟放大40倍 跟放大40倍 通過蝕刻缸內反應,可以看到蝕刻完銅的藥水是深綠色的。 隨著藥水不斷的混合,深綠色會變成深籃色,實現再生。 2分鐘之後 2分鐘之後 下底部還是渾濁 氨水補加後從上往下變清澈

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