ITO镀膜玻璃的介绍资料.ppt

表观质量缺陷类别 第三讲 ITO玻璃的基本参数 1 磨边 2 倒角 3 边直线度 4 玻筋气泡 5 表面凹坑、杂质点 6 划伤 7 膜层 8 污染 缺陷等级分类 A类缺陷 ▼膜层下玻璃发霉 ▼大面积掉膜 ▼玻璃存在S形变形 B类缺陷 表观质量项目 表观质量缺陷的细分研究 第三讲 ITO玻璃的基本参数 来料 清洗 接触材料 操作 镀膜 环境 检查 贮存 客户使用 污染 锡斑 锡印 发霉 纸印 油渍 胶印 轮印 辊印 手印 表观质量缺陷举例 第三讲 ITO玻璃的基本参数 铟污染 发霉 5 污染 用清洗机可以清洗干净或可用酒精擦拭干净，不计; 清洗机清洗不净或酒精擦拭不掉：不允许 6 膜层针孔 d=(L+W)/2 d≤0.03mm 不计 0.03d≤0.10mm 最多2个/片 d0.10mm 不允许 表观质量要求说明 第三讲 ITO玻璃的基本参数 30um针孔，接近在线目测的极限。因此ITO的产品质量需要制程和设备来保证。 部分生产厂家设置在线检测设备来控制（抽检）。 ITO质量对LCD质量的影响 1. 玻璃表面划伤、针孔 电极开路 2. 产品表面存在难以洗净的污迹 光刻胶涂不匀，电极开路 3. 面电阻过大 施加于液晶层的有效电压降低 4. 膜厚不匀 酸刻控制难度变大 5. 玻璃平整度不良 出现彩虹 ITO质量 LCD质量 6. 没镀SiO2膜 字肥、扩散、鬼影 7. 玻璃垂直度不良 柯式印刷PI、丝印与合盒对位困难 2-9 第三讲 ITO玻璃的基本参数 ⑥ SiO2层 第三讲 ITO玻璃的基本参数 厚度≥200A SiO2层的作用 ● 阻挡Na+离子的析出 ● 有减缓LCD制程中碱对玻璃的腐 蚀作用 可能产生的问题 ※ LCD线路扩散 ※ 鬼影 ⑦ ITO层面电阻/膜厚/透过率 第三讲 ITO玻璃的基本参数 产品型号 ITO膜厚 透过率 ( T% ) 面电阻 ( Ω/口) 膜层反射色 酸刻时间 —150 180A±30A ≥88% 100—150 / ≤30 秒 —100 220A±30A ≥87% 70—90 / ≤30 秒 —80 250A±50A ≥87% 60—80 / ≤40 秒 —60 300A±50A ≥85% 40—60 / ≤60 秒 —50 350A±50A ≥84% 37—50 / ≤60 秒 —45 400A±50A ≥83% 35—45 / ≤60 秒 —40 450A±50A ≥82% 30—40 / ≤60 秒 —30 700A±75A ≥81% 20—30 / ≤80 秒 —25 750A±100A ≥81% 20—25 白色 ≤100 秒 —20 800A±100A ≥81% 15—20 亮白色 ≤100 秒 —17 1000A±100A ≥82% 12—16 黄色 ≤120 秒 —15 1150A±100A ≥83% 11—15 深黄色 ≤120 秒 —10 1800A±100A ≥87% 7—10 蓝色 ≤200 秒 —7 2000A±150A ≥82% 6—7 青绿色 ≤250 秒 —5 2800A±200A ≥85% 4—5 紫色 ≤300 秒 ITO厚膜产品颜色示意图 颜色： 淡黄色 黄色 浅红色 红色 紫红色 紫色 兰紫色 蓝色 青色 绿色 黄色 紫蓝色 红紫色 膜厚（A）： 900 1100 1250 1300 1400 1500 1650 1850 2000 2200 2500 3000 3500 面电阻（ohm): 20 17 15 12 10 9.5 9 8 7.5 7 6 5 4.5 透光率（%）： 80