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大威工程顾问有限公司沪铼光电昆山厂 项目演示文稿 空调系统简易分析及问题检讨 CLEAN　ROOM架构分析（台湾厂＆昆山厂) MAU节能与控制 COOLING　TOWER节能及控制 无尘室温湿度异常改善检讨 CLEAN　ROOM架构分析（台湾厂) CLEAN　ROOM架构－台湾厂 CLEAN　ROOM架构分析（昆山厂) CLEAN　ROOM架构－昆山厂 无尘室FFU系统与传统AHU系统之比较（一） 无尘室FFU系统与传统AHU系统之比较（二） 无尘室FFU系统与传统AHU系统之比较（三） 无尘室FFU系统与传统AHU系统之比较（四） Legend: E Excellent(优良）, G Good( 好), U Unsatisfied( 不满意） 資料來源:美國LOPCO CO;LTD 韓國SHINSUNG ENG CO;LTD. MAU 节 能 与 控 制 室内静压感测器感测无尘室的静压大小，控制MAU送风马达变频器输出频率的大小，以满足无尘室的正压(B3C3区建议1.5~2.5mm Aq,B1B2、C1C2区建议不大於1.5mm Aq )。 当室外露点温度感测器感测室外露点温度低于设定点,通过DDC控制开启加湿泵浦。 若加湿量不够，则可適度调高加湿后空气干球温度设定点，用来控制预热盘管二通阀的开度，提高单位质量的空气含湿量。 当室内温度低于设定点时，DDC则控制再热盘管二通阀的开度来提高送风温度使室内温度达到要求。 由送风露点温度设定控制冰水二通阀的开启度，使送风露点温度达到要求。 COOLING　TOWER节能及控制 当CT温度感测器感测水温湿度超过CT出水温度设定时，此冷却水塔风扇马达开启。 当CT温度感测器感测水温湿度低于CT出水温度设定值3℃时，此冷却水塔风扇马达停止。 当冷却水塔运转进入春秋冬季模式时，尽可能的开启冷却水塔的运转数量，使其能自然散发系统的热量，而进入夏季模式时，则应提高单台的运转效率，减少运转数量，以节约耗电量。 四台冰水主机系统皆須设定为系统开之狀態(見下頁說明)，冷却水塔控制为上述模式。 冰 水 主 机 节 能 及 控 制 四台冰水主机系统皆須设定为系统开之狀態(見上頁說明)，冷却水塔控制为上述分段溫度控制模式。 当冷却水旁通阀开启温度感测器感测的水温低于17℃时冷却水供回水旁通阀开启，保护冰水主机不应冷却水温度过低，而发生喘震现象。 在冬季冰水主机停機再開機运转时，可能会因为冷却水温低于17 ℃，冷却水旁通阀开启，造成开机时空气在管道中循环不易排除，冷却水管发生巨大的振动，此时应强制(手動)关闭旁通阀，将空气从冷却水塔排出。待运转平稳时(冷却水温度大於17 ℃,冷卻水循環正常,冰機順利啟動),再将旁通阀放置在自动控制状态。 B3/C3區無塵室部份區域溫度偏高改善方案 (一) (一)????????? 原因分析： (1)?? B3/C3無塵室Dry Coil(乾盤管)之佈置與數量因未完全與機台熱量分佈配合設計(Class10,000變更 為50,000級FFU數量減少Layout變更節能設計),以致 Steag Y-Line區及Meiki區溫度局部偏高. (2)?? 本工程因制程需求機台皆已定位安裝並運轉，原設計D/C之平均化佈置無法匹配機台熱負荷, 造 成無塵室部份區域溫度偏高(偏低). (3)?? 補充外氣之MAU風管只配置到Y7軸，距離發熱量較高之Steag Y-Line區及Meiki區最長距離有 22m未配置風管。 (4)?? Steag Y-Line機台(共十台)之熱風排氣直接排至天花上方(未通過乾盤管冷卻降溫)經FFU短循環 (BY PASS)又以環境溫度(攝氏24~26度)回到室內, 造成Steag Y-Line區溫度局部偏高. 參見附圖 (二)????????? 建議改善方案： (1)?? 局部發熱量較高之區域另外加裝FFU設備:使其強迫將熱量快速循環至乾盤管(Dry Coil)處降溫， 計算式詳參下列： a. 原始設計循環次數計算： 總FFU循環風量：296台*26CMM=7,696CMM 無塵室B3/C3區面積：60m*96m=5,760m2 B3/C3區無塵室部份區域溫度偏高改善方案 (一) 故可得知設計風量循環次數為：7,696CMM*60 / (5,760m2 x 3m)=26.7 約為27 A.C.(循環次數/Hr) 但27循環次數為CLASS 50,000級之設計標準，現為CALSS 10,000級時建議循環次數為30~40次/Hr。 b. Steag Y-Line 區 (參附圖二之斜線