学员版--经典DOE教材教程分析.ppt 231页

实验设计三项基本原则 重复设计 实验设计基本目标 筛选 23 全因子设计实验计划表 术语：主效应与交互作用 交互作用： 两种或以上的因素共同对输出响应值的影响。 两类错误与置信度 第Ⅰ类错误： 记为α，也称 显著性水平 拒绝一个正确的假设或结论的概率。 第Ⅱ类错误： 记为β 接受一个错误的假设或结论的概率。 置信度： 记为 1-α α一般取值 0.01、0.05、0.10，系统默认值0.05 结论与推荐 最佳设置： A （-） ：压力 300 B （+）：距离70 C（非显著因子）：低成本设置 预测值 强度Y=91.95 响应曲面第一阶段试验：析因设计 第一阶段的析因实验可能会有两种结果： 最陡的上升路径 DOE完整实验操作 筛选 【案例分析】DOE完整实验 【背景数据】XX汽车厂为了延长滚珠轴承的使用寿命，DOE团队展开了测试实验。经过头脑风暴，确定影响产品使用寿命的4个因子，实验数据如下： 因子（变量） 低水平（-） 高水平（+） A 热量 120 160 B 相切度 0.40 0.48 C 球的硬度 4 8 D 润滑油黏度 20 60 Y：产品使用寿命 （望大特性） 全部实验分二个阶段来进行…… 第一阶段的实验：分部设计 采用4因子的分部设计，分辨率为Ⅳ，8次实验；加入3个中心点，总共11次实验—— 分部设计数据输出 显著性图形输出 主效应与等高线分析 分部设计初步优化结果 响应曲面第一阶段试验：析因设计 第一阶段的析因实验可能会有两种结果： 最陡的上升路径 由： 一阶模型的回归方程 Y = 62.18+22.75A+22.75B+24C+18.75AB 可得：最陡的上升路径的步骤设置—— Steps/步骤 A B C Y Center /中心点 160 0.48 8 154 △ （增量） 20 0 .04 2 Center+ △ 180 0.52 10 176 Center+ 2△ 200 0.56 12 191 Center+ 3△ 220 0.60 14 213 Center+ 4△ 240 0.64 16 181 安排2k设计 D 是次要因素，故析因设计只考察 ABC 3个重要因子： 增加3个中心点，总共11次实验。 因子水平设置： A热量（200，240） B角度（0.56, 0.64） C硬度 (12, 16) 全因子设计数据输出 析因实验的两种等高线图形 第二阶段实验：响应曲面设计 采用中心复合序贯设计CCC，在2k设计的基础上增加9次实验 （6个轴点、3个中心点），完整的CCC实验计划如下： 响应曲面设计输出数据 简化模型 删除非显著项CC、AC、BC，重建模型： 残差诊断 解释模型 优化及预测 试验结论 得出最新的工艺条件如下—— 因子与水平设置： A. 热量 （240.0456） B. 相切角度 （ 0.6510） C. 球的硬度 （ 17.3636） 预测指标：Y 寿命= 295.8037 验证设计 路径：DOE-RSM-分析设计 系统输出的置信区间： 多个响应指标的联合实验与分析 【案例分析】多指标的联合实验 【案例】在对器件集成技术的改进中，涉及到对其晶片的蚀刻工序的调整与优化。 目标：优化蚀刻工艺菜单 增加CF流量，从5sccm到15sccm 找出反应气体流量与功率的设置，以补偿CF 要避免对质量响应Y以及晶片产能的负面影响 指标： 1、选择比（望大） 2、蚀刻速率（望大） 3、均匀性（望小） 步骤5：残差诊断 步骤6：解释模型：主效应与交互作用 重复步骤3-7，