传感器与检测技术课件第二章摘要.ppt

指令信号方波使励磁供电线路产生振幅、频率相同而相位差90?的正弦信号电压Uisin?t和余弦信号电压Uicos?t，供给感应同步器滑尺或定尺的A、B绕组。 三、感应同步器 鉴相式测量电路工作原理 定尺上产生感应电动势E，经放大整形后变为方波，并和参考信号方波送入鉴相器。 三、感应同步器 鉴相式测量电路工作原理 鉴相器的输出是感应电动势信号与参考信号的相位差，即相位θx，且反映出它的正负。相位信号和高频脉冲信号一起进入与门电路，当相位信号θx存在时，门打开，允许高频时间脉冲信号通过；当相位信号θx不存在时，门关闭。 三、感应同步器 鉴相式测量电路工作原理 这样，门输出的信号脉冲数与相角θx成正比。该脉冲进入可逆计数器计数，并由译码和显示器显示数字。通过门电路的信号脉冲还送到脉冲相位变换器中，使参考信号跟随感应电动势的相位。 三、感应同步器 鉴相式测量电路工作原理 根据感应电动势E的幅值鉴别位移量x的大小 三、感应同步器 鉴幅型 根据感应电动势E的幅值鉴别位移量x的大小 滑尺正、余弦绕组通入的激励电压同频、同相，但幅值不同。 三、感应同步器 鉴幅型 当正、余弦绕组上施加的激励电压为 和 时， 定尺上的感应电动势为E。在滑尺偏离初始位置?x位移后，其感应电动势为 三、感应同步器 鉴幅型 三、感应同步器 2.感应同步器测位移的特点 ①具有较高的精度与分辨力。其测量精度首先取决于印制电路绕组的加工精度，温度变化对其测量精度影响不大。感应同步器是由许多节距同时参加工作，多节距的误差平均效应减小了局部误差的影响。 ②抗干扰能力强。感应同步器在一个节距内是一个绝对测量装置，在任何时间内都可以给出仅与位置相对应的单值电压信号，因而瞬时作用的偶然干扰信号在其消失后不再有影响。平面绕组的阻抗很小，受外界干扰电场的影响很小。 ③使用寿命长，维护简单。定尺和滑尺，定子和转子互不接触，没有摩擦、磨损，所以使用寿命很长。它不怕油污、灰尘和冲击振动的影响，不需要经常清扫。但需装设防护罩，防止铁屑进入其气隙。 三、感应同步器 2.感应同步器测位移的特点 ④可以作长距离位移测量。可以根据测量长度的需要，将若干根定尺拼接。拼接后总长度的精度可保持（或稍低于）单个定尺的精度。目前几米到几十米的大型机床工作台位移的直线测量，大多采用感应同步器来实现。 ⑤工艺性好，成本较低，便于复制和成批生产。 例题 感应同步器定尺上的感应电动势为： 其中W＝0.2mm 若E=10sin(100t+0.96?)，求此时测得的位移l 第三节 大位移传感器 四、激光式位移传感器 由激光器、光学元件、光电转换元件构成的激光测量系统 将被测位移量转换成电信号。 第三节 大位移传感器 四、激光式位移传感器 激光检测有精度高、测量范围大、测试时间短、非接触、易数字化、效率高等优点。 激光干涉测长技术，目前已广泛地应用于精密长度测量，如磁尺、感应同步器、光栅的检定；精密机床位移检测与校正；集成电路制作中的精密定位等。 第三节 大位移传感器 四、激光式位移传感器 常用的激光干涉测长传感器分为单频激光干涉传感器和双频激光干涉传感器。 第三节 大位移传感器 四、激光式位移传感器 （1）单频激光干涉传感器 第三节 大位移传感器 四、激光式位移传感器 （1）单频激光干涉传感器 单频激光干涉测长传感器的精度高，分辨力高，测量1m长度时，其精度可达10-7量级，测10m可达1?m精度，但对环境条件要求高。 第三节 大位移传感器 四、激光式位移传感器 （2）双频激光干涉传感器 第三节 大位移传感器 四、激光式位移传感器 （2）双频激光干涉传感器 精度高，抗干扰能力强。 习题 一、单项选择 1、测量范围大的电容式位移传感器应选用 变极板面积型 B. 变极距型 变介质型 D. 容栅式 2、自感式位移传感器改善性能不考虑的因素是 损耗问题 B. 温度误差 C. 零点剩余电压 D. 线性度 3、感应同步器的作用是测量 电压 B. 电流 C. 位移 D. 相位差 * * * * * 容栅位移传感器是根据在间隙δ和介电常数ε一定的条件下，电容△C的变化量的大小与耦合面积△S变化量的大小成正比，因此容栅式传感器是在变面积型电容传感器的基础上发展起来的一种