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第四章 电容式传感器第一节 工作原理、结构和特性(Principle Structure and Property) 电容式传感器是将被测非电量的变化转化为电容量的一种传感器。结构简单、高分 辨力、可非接触测量,并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作,这是它独特优点。随着集成电路技术和计算机技术的展,促使它扬长避短,成为一种很有发展前途的传感器。 三.变介质型电容传感器 下图是一种变极板间介质的电容式传感器用于测量液位高低的结构原理图。 设被测介质的介电常数为ε1,液面高度为h,变换器总高度为H,内筒外径为d,外筒内径为D,则此时变换器电容值为: 式中: ε ——空气介电常数; C0 ——由变换器的基本尺寸决定的初始值,即: 可见此变换器的电容增量正比于被测液位高度h。 变介质型电容传感器有较多的结构型式,可以用来测量纸张,绝缘薄膜等的厚度,也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿度。 下图是一种常用的结构型式。图中两平行电极固定不动,极距为d0,相对介电常数为εr2的电介质以不同深度插入电容器中,从而改变两种介质的极板覆盖面积。 传感器总电容量C为: 式中: L0,b0——极板长度和宽度; L ——第二种介质进入极板间的长度。 若电介质 ,当L=0时,传感器初始电容: 当介质 进入极间L后,引起电容的相对化为: 可见电容的变化与电介质 的移动量L呈线性关系。 第二节 特点和应用中存在的问题(Characteristics and Problems in Application) 4.5 电容式传感器的应用 电容式传感器由于结构简单,可以不用有机材料和磁性材料构成,所以它可以在温度变化大、有各种辐射等恶劣环境下工作。 电容式传感器可以制成非接触式测量器,响应时间短,适合于在线和动态测量。 电容式传感器具有高灵敏度,且其极间的相互吸引力十分微小,从而保证了较高的测量精度。 近年来电容式传感器被广泛地应用在厚度、位移、压力、密度、物位等物理量的测量中。下面简单介绍几种电容式传感器的应用。 4.5.1 数字湿度计 湿度的检测广泛用于工业、农业、国防、科技、生活等各个领域。湿度的测量一般用湿敏元件。 常用的湿敏元件有阻抗式湿敏元件和电容湿敏元件。前者的阻抗与湿度曲线呈现非线性;后者的电容与湿度曲线基本呈线性关系。 下面介绍MC-2型电容湿敏元件的应用,其基本原理是相对湿度的变化影响到聚合物的介电常数,从而改变了传感器的电容值。 传感器测量电路包括自激多谐振荡器、脉宽调制电路、频率/电压转换器电路F/V和A/D转换器。如下图所示。 图4-18 数字湿度计电路 4.5.2 差动式电容测厚传感器 下图所示为频率型差动式电容测厚传感器系统组成框图。 将被测电容C1、C2作为各变换振荡器的回路电容,振荡器的其它参数为固定值,等效电路如图(b)所示,图中C0为耦合和寄生电容,振荡频率f为 式中: ——极板间介质的相对介电常数; A ——极板面积; dx——极板间距离; Cx——待测电容器的电容量。 所以: 设两传感器极板间距离固定为d0,若在同一时间分别测得上、下极板与金属板材上、下表面距离为dx1、dx2,则被测金属板材厚度 。 可见,振荡频率包含了电容传感器的间距dx的信息。各频率值通过取样计数器获得数字量,消除非线性频率变换产生的误差,即可获得板材厚度。 4.5.3 电容式料位传感器 下图是电容式料位传感器结构示意图。测定电极安装在罐的顶部,这样在罐壁和测定电极之间就形成了一个电容器。 检测出这种电容量的变化就可测定物料在罐内的高度。 传感器的静电电容可由下式表示: 式中: k ——比例常数; ——被测物料的相对介电常数; ——空气的相对介电常数; D——储罐的内径; d ——测定电极的直径; h ——被测物料的高度。 假定罐内没有物料时的传感器静电电容为 ,放入物料后传感器静电电容为 ,则两者电容差为 由上式可见,两种介质常数差别越大,极径D与d相差愈小,传感器灵敏度就愈高。 习题与思考题 1.某电容传感器(平行极板电容器)的圆形极板半径 ,工作初始极板间距离 ,介质为空气。问: (1)如果极板间距离变化量 ,电容的变化量 是多少? (2)如果测量电路的灵敏度 ,读数仪表的灵敏度 (格/mV)在
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