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2007 ⑵ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件 ZnO-Cr2O3湿敏元件的结构是将多孔材料的电极烧结在多孔陶瓷圆片的两表面上，并焊上Pt引线，然后将敏感元件装入有网眼过滤器的方形塑料盒中用树脂固定．就形成了ZnO-Cr2O3陶瓷湿度传感器。ZnO-Cr2O3传感器能连续稳定地测量湿度，而无需加热除污装置，因此功耗低于0.5W，体积小、成木低，也是一种常用的测湿传感器。 ⑶膜型四氧化三铁(Fe3O4)湿敏元件 Fe3O4湿敏器件由基片、电极和感湿膜组成。基片选用滑石瓷，其光洁度为很高，它的吸水率低，机械强度高，物化性能稳定。基片上用丝网印刷工艺制成梳状金电极。将预先调好的Fe3O4的胶液涂敷在已有金电极的基片上，膜厚一般为20～30微米左右，经低温烘干后，引出电极便成产品。Fe3O4湿敏器件属于负特性的感湿体。 2007 Fe3O4湿敏器件的主要优点是：在常温、常湿下性能比较稳定，有较强的抗结露能力，它有较为一致的湿敏持性和较好的温度 — 湿度特性。左下图和右下图分别为国产MCS型Fe3O4湿敏器件的电阻-湿度特性和温度特性曲线。 ⑷膜型Fe2O3湿敏元件 Fe2O3湿敏元件湿敏元件在低湿高温条件下具有很稳定的湿敏特性。例如，在80℃、5％～80％RH的环境中，重复检测104次，重复误差为5％。元件耐恶劣环境的能力也很很强。 2007 3．高分子湿敏元件 (1)电容式湿敏元件 高分子电容式湿敏元件是利用湿敏元件的电容值随湿度变化的原理进行湿度测量的。将具有感湿性能的高分子聚合物，例如乙酸-丁酸纤维素或乙酸-丙酸纤维素等做成薄膜，它们具有迅速吸湿和脱湿的能力。将薄膜覆盖在叉指形金电极(下电极)上，然后在感湿薄膜表面上再蒸镀一层多孔金属膜(上电极)，如此结构就构成了一个平行扳电容器。当环境中的水分子沿着上电极的毛细微孔进入感湿膜而被吸附时，湿敏元件的电容值与相对湿度之间具有正比关系，线性度约为1 ％。 (吸湿-湿度上升过程、脱湿曲线不重合) (2)石英振动式湿敏元件 在石英品片的表面涂敷一层聚胺酯高分子膜，当膜吸湿时，由于膜的重量变化而使石英晶片振荡频率发生变化，不同的频率就代表不同程度的湿度。这种湿敏元件，在0～50℃”条件下，元件检测湿范围为0％RH～100％RH，误差为±5％RH。 2007 加热器可以将附着在敏感元件表面上的尘埃、油雾等烧掉，加速气体的吸附，提高其灵敏度和响应速度。加热器的温度一般控制在200～400℃左右。加热方式一般有直热式和旁热式两种，因而形成了直热式和旁热式气敏元件。直热式是将加热丝直接理入SnO2或ZnO粉末中烧结而成，因此，直热式常用于烧结型气敏结构。旁热式是将加热丝和敏感元件同 置于一个陶瓷管内，管外涂梳状金电极作测量极，在金电极外再涂上SnO2等材料。 2007 直热式结构的气敏传感器的优点是制造工艺简单、成本低、功耗小、可以在高电压回路中使用。它的缺点是热容量小，易受环境气流的影响，测量回路和加热回路间没有隔离而相互影响。旁热式结构的气敏传感器克服了直热式结构的缺点，使测量极和加热极分离，而且加热丝不与气敏材料接触，避免了测量回路和加热回路的相互影响。器件热容量大，降低了环境温度对器件加热温度的影响，所以这类结构器件的稳定性、可靠性比直热式的好。 （2）表面电阻控制型气体传感器的工作原理 表面电阻控制型气体传感器的工作原理建立在半导体表面理论基础上。在半导体表面，由于原子周期性排列的中断，表面处电子的能量状态发生变化，形成了表面态，相应的表面能级称为塔姆能级。由于塔姆能级的存在，导致能带在半导体表面的弯曲，形成表面空间电荷层。 2007 SnO2等氧化物半导体气体传感器的敏感体不是单晶体，而是大量微小结晶颗粒的集合，晶粒之间存在着晶粒简界。由于晶粒之间晶轴倾斜角度不同，因而形成大量的位错。在位错处由于悬挂键及应力的存在，可以引起能带的弯曲，形成阻挡载流子运动的势垒。当某种待测气体接触时，如果晶粒间界处的势垒受到该气体的调制而变化，就会引起表面电导率的变化。利用这一原理就可获得这种气体存在的信息。 2、体电阻控制型气体传感器：材料?-FeO3、 TiO2等 3、气体传感器性能的改善 （1）利用贵金属的增感效应提高灵敏度（添加一定量） （2）表面修复技术与稳定性（敏感元件的涂层处理和二氧化锡颗粒表面的涂层处理） 其它气体传感器 定电位电解式传感器：一种湿式气体传感器，通过测定气体在某个确定电位电解时产生的电流测量气体浓度。 原电池式传