第6章位移、速度及加速度检测 传感器与检测技术高教(3版）课件.ppt

第6章 位移、速度及加速度检测 本章主要介绍自感式位移计、差动变压式位移计、电位器式位移计、感应同步器、光栅、光电码盘、电涡流位移计、电容式位移计、磁电式速度计、 光电转速计、电磁式转速计和测速发电机等的原理、结构、特性及应用。 6.1 电感式传感器 将被测量转换成电感(或互感)变化的传感器，称为电感式传感器。电感式传感器是建立在电磁感应定律基础上的，它把被测位移转换为自感系数L的变化。然后将L接入一定的转换电路，位移变化便可变成电信号 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 电感式传感器又称电感式传感器或可变磁阻式传感器，原理如图所示。 线圈的电感值按下式计算： 其中： 6.1 电感式传感器 若忽略Rc，则有 故 电感式传感器分为三种类型，如图所示。 6.1 电感式传感器 6.1.2 输出特性 变间隙式和变截面式自感传感器的输出的特性如图所示。其灵敏度分别为为 6.1 电感式传感器 6.1.3 差动电感传感器原理 差动变间隙式传感器结构及特性如图所示。 6.1 电感式传感器 初始电感 当衔铁移动时，气隙增加或减小，引起电感的变化 因L1、L2是差动形式，故总的电感变化量为 略去高次项，则有 ? 6.1 电感式传感器 灵敏度 与单边式相比，有如下优点： （1）灵敏度提高一倍； （2）具有温度自补偿作用，抗外磁场干扰能力强； （3）电磁吸力相互抵消，线性度高。 6.1 电感式传感器 6.1.4 电感式位移计 1、轴向电感式位移计的结构 6.1 电感式传感器 2、电感式位移计的测量电路 电感式位移计测量电路将电感量的变化转换成电压或电流变化，送入放大器，再由指示仪表或记录仪表指示或记录。测量电路的形式很多，通常都采用电桥电路。 6.1 电感式传感器 A、B两点的电位差即输出电压 （1）衔铁处于中间位置时，输出电压为 （2）衔铁向上移动时，输出电压为 （3）衔铁向下移动时，输出电压为 6.1 电感式传感器 可见，当测杆的铁芯，由平衡位置上下移动相同的距离、产生相同电感增量时，电桥空载输出电压大小相等而符号相反，由此测得位移大小和方向。 6.2 差动变压器位移计 差动变压器是互感传感器，是把被测位移转换为传感器线圈的互感系数变化量，由于这种传感器通常做成差动的，故称为差动变压器，由于该类传感器具有结构简单、灵敏度高、测量范围广等优点，被广泛应用于位移量的测量。 6.2 差动变压器位移计 6.2.1 差动变压器工作原理及特性 差动变压器主要由一个线框和一个铁芯组成，在线框上绕有一组初级线圈作为输入线圈，在同一线框上另绕两组次级线圈作为输出线圈，并在线框中央圆柱孔中放入铁芯，如图所示，当初级线圈加以适当频率的电压激励时，根据变压器的作用原理，在两个次级线圈中就产生感应电动势。 6.2 差动变压器位移计 当铁芯处于中间位置时，输出电压: 当铁芯向右移动时，则输出电压:  当铁芯向左移动时，则输出电压:  输出电压的方向反映了铁芯的运动方向，大小反映了铁芯的位移大小。 6.2 差动变压器位移计 输出特性如图所示。 6.2 差动变压器位移计 6.2.2 差动变压器位移计结构 6.2 差动变压器位移计 此差动变压器位移计的测量范围约为±0.5 mm ～±75mm，分辨力可达0.1μm～ 0.5μm，差动变压器中间部分的线性比较好，非线性误差约为0.5 %，其灵敏度比差动电感式高，当测量电路输入阻抗高时，用电压灵敏度来表示，当测量电路输入阻抗低时，用电流灵敏度来表示。当用400Hz以上高频激磁电源时，其电压灵敏度可达 ( 0.5 ～ 2 ) V / mm·V。电流灵敏度可达0.1mA / mm·V。由于其灵敏度较高，测量大位移时可不用放大器，因此，测量电路较为简单 6.2 差动变压器位移计 6.2.3 差动变压器位移计的测量电路 1.大位移测量电路 电路如图所示。 只测位移大小时， 用图a、b电路； 大小、方向都测 时，用图c、d的 相敏检波电路。 6.2 差动变压器位移计 2.微小位移测量电路 DGS—20C /A型测微仪的框图如示。此位移传感器的测量范围一般为几毫米，分辨率可达0.1μm ～ 0.5μm，工作可靠。缺点是动态性能差，只能用于静态测量。 6.3 电位器传感器 6.3.1 电位器传感器基本工作原理