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目录
第一章 前言 2
1.1氧化钨材料简介 2
1.2氧化钨薄膜的制备 2
1.3本课题主要研究内容 2
第二章 实验方法 4
2.1实验过程及仪器介绍 4
2.1.1 XRD分析 4
2.1.2 TEM分析 4
2.1.3 SEM分析 6
2.1.4 EDS分析 6
第三章 实验结果与分析 8
3.1 XRD分析 8
3.2 TEM分析 8
3.3 SEM分析 9
3.4 光性能测试 10
3.5 能谱测试(EDS) 12
参考文献 14
第一章 前言
氧化钨薄膜具有优异的电致变色、光致变色、热致变色、气致变色和光催化性能，应用前景十分宽阔[1]。在不同应用领域，对氧化钨薄膜的各项性能有不同要求。虽然关于氧化钨薄膜的研究已经十分广泛和细致，但是在实际使用过程中还存在着各种问题，各项研究工作还需要进一步深入进行。
1.1氧化钨材料简介
三氧化钨的结构跟温度有很大的关系：它在7400C以上为四方晶系，330～7400C为正交品系，17～3300C为单斜品系，-50～170C为三斜品系。其中单斜结构最常见，其空间群为P21／n。
WO3黄色斜方晶体。加热时颜色变深。密度7.16。熔点1473℃。不溶于水和酸（除氢氟酸），能缓慢地溶于浓碱溶液。
氧化钨一部分用于生产化工产品，如油漆和涂料、石油工业催化剂等；但氧化钨是一种中间产品，大量的氧化钨被用于金属钨粉和碳化钨粉，进而用于生产金属钨制品的生产，并大量应用与生产钨的合金制品，入钨铜、钨镍，钨镍铁、钨银，钨铼、钨钍等，而当代工业领域中应用最为广泛的则是以钨为基材生产的各种牌号和用途的硬质合金产品。
氧化钨具有气体敏感性，用于检测二氧化氮，氨气等有毒气体的检测。已经制备了氧化钨薄膜气敏传感器和氧化钨的纳米颗粒传感器，纳米传感器的发现大大的提高了对于低浓度有毒气体的检测
1.2氧化钨薄膜的制备
本实验测试的薄膜是通过溶胶凝胶法制得，溶胶一凝胶法原理[2]是将前驱体(无机盐或金属醇盐)溶于溶剂中通过搅拌等方式制得均匀的溶液，溶质与溶剂产生水解反应，水解产物经缩聚反应生成纳米级颗粒并形成溶胶。在制得溶胶的基础上，可以采取浸渍提拉、旋转涂覆、喷雾裂解等工艺过程制得氧化钨薄膜。
钨粉
双氧水
加入无水乙醇 装入干燥的磨口瓶
三氧化钨薄膜
图1 溶胶凝胶法制备三氧化钨薄膜实验流程图
1.3本课题主要研究内容
本课题将对氧化钨薄膜进行X射线衍射分析(XRD)、扫描电子分析（SEM）、能谱仪（EDS)、透射电子显微分析（TEM)、用以研究氧化钨薄膜的具体成分、组织结构、微观形貌、以及是否存在掺杂等。
第二章 实验方法
2.1实验过程及仪器介绍
2.1.1 XRD分析
仪器型号：XRD—7000S
主
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