2013.10月第二章资料分析.ppt

利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号，分析试样物质的 微区形貌 、 显微结构 、 晶体结构 和 化学组成 。 电子显微分析的特点： 放大倍数高：5倍 ~ 100万倍；且连续可调； （现代TEM可达 200万倍 以上） 分辨率高：0.2~0.3nm （现代TEM线分辨率可达0.104~0.14） 多功能、综合性：形貌 + 物相 + 晶体结构 +化学组成 一、电子光学与几何光学相似： 1. 电镜中电子光学系统的附加限制条件： 1924年，德布罗意提出： 运动着的微观粒子（如中子、电子、离子等）具有波粒二象性； 运动着的微观粒子伴随一个波——德布罗意波； 这种波的波长与粒子质量、速度的乘积成反比。? 虽然静电透镜也是会聚透镜，但现代电子显微镜中几乎都采用磁透镜，用于使电子束聚焦、成像。其主要原因有两点： 静电透镜要求高电压，但高压总是危险的！ 磁透镜的焦距可以做得很短，可获得较高的放大倍数和较小的球差。 受衍射效应、球差、色差、轴上像散等因素的影响 1. 场 深（景深） 不影响分辨本领的前提下，物平面可沿透镜轴移动的距离(Df )。 场深反映： 试样在物平面上下移动的距离； 试样的允许厚度。 2.焦 深 在不影响透镜成像分辨本领的前提下， 像平面可沿镜轴移动的距离（Di）。 焦深反映： 像平面可上下移动的距离。 观察屏或照相底片可上下移动的距离及安装位置。 入射电子与核外电子碰撞，将核外电子激发到空能级 或 脱离原子核成为二次电子（此过程称为电离）。 电离：入射电子把某个核外电子打出去，成为二次电子，原子变成离子的过程。 二次电子的级联过程：入射电子产生的二次电子还有足够能量继续产生二次电子……..直至最后能量很低，不足以维持此过程为止。 二次电子信号：试样 表面 和 深处 都能产生二次电子，但仅在试样表面10nm层内产生且能克服逸出功的二次电子才有可能逸出成为信号。 二次电子特点: 能量低: ＜50ev 对试样表面状态非常敏感，显示表面微区的形貌结构非常有效。 二次电子应用——分辨率较高，是SEM的主要成像手段 单电子激发的对象：价电子 原子的核外电子：最外层的价电子——能量高，易被激发——价电子激发使入射电子产生小角度散射 内层电子——能量低，激发所需能量大，至少为结合能——产生大角度散射 二、内层电子激发后的驰豫过程 前面讲了电子散射，主要从原子核、核外电子两方面讲述了它们对电子能量和方向改变所起到的作用。 通常，电子入射到试样中，使价电子激发的几率较大，但也有可能使内层电子激发。 三、自由载流子 当高能量的入射电子照射到半导体、绝缘体和磷光体上时，不仅可使内层电子激发产生电离，还可使满带中的价电子激发到导带中去，在满带和导带内产生大量空穴和电子等自由载流子。 自由载流子可进一步产生阴极荧光、电子束电导和电子生伏特效应等。 四、电子与物质相互作用产生的各种电子信号 弹性散射电子 弹性背散射电子 背散射电子 二次电子 俄歇电子 1. 弹性散射电子 如前所述“原子核对电子的弹性散射” --→产生弹性散射电子，其能量等于或接近入射电子的能量E0。 2. 背散射电子 电子射入试样后，将受到原子的弹性和非弹性散射，就要改变运动方向。 经历数次方向改变后，一部分电子的总散射角＞90°，重新从试样表面逸出，称~ ~ ~ 。 二次电子是“单电子激发”过程中被入射电子轰出的试样原子的核外电子。 产生的根本原因是原子内层电子的跃迁。 化学元素有特定波长特征 X 射线——成分分析 应用： SEM（增加X射线谱仪附件） 属于“二次”电子类别 原子内壳层电子被打出后，内层出现空位，当较外层电子填补时，能量传给另一外层电子，使它被打出去——双电离。 Auger电子仅在表面 1nm层内产生 Auger电子能量一般几十~~几百eV 特点及应用：Auger电子对表面微量元素有很高的灵敏度，且分析速度快，可进行定性分析、定量分析、表面状态分析。 “等离子激发” 后，损失了特征能量ΔEP后的入射电子 应用：TEM 电子能量损失谱——能量分析电子显微术 当试样厚度小于入射电子的穿透深度时，入射电子将穿透试样，从另一表面射出，称为透射电子。 入射电子经多次非弹性散射后，能量耗尽，不再