第七章压电式传感器精要.pptVIP

现代检测技术 压电式传感器 压电式传感器 压电效应 压电效应 压电效应 压电效应 几个结论 无论是正或逆压电效应，其作用力与电荷之间呈线性关系； 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； 石英晶体不是在任何方向上都存在压电效应的。 压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷的压电效应 压电式传感器的应用 作 业 Xi’an Jiaotong University 精勤求学 敦笃励志 果毅力行 忠恕任事 压电式传感器是一种典型的有源传感器（发电型、自源型），既可以将机械能转变为电能，又能将电能转变成机械能。其工作原理是利用某些物质的压电效应。 压电常数d与材料和机械形变方向有关，q的极性与变形的形式有关。 能够测量与力有关的物理量，如压力、加速度。 某些材料（如石英）当沿着一定方向施加力变形，由于材料分子不具备中心对称性，其内部产生极化现象，同时在它的两个表面上产生符号相反的电荷，当外力去掉后，重新恢复到不带电状态，此现象称为正压电效应。压电效应是可逆的。 逆压电效应是指当压电材料沿一定方向受到电场作用时，相应的在一定的晶轴方向将产生机械变形或机械应力，又称电致伸缩效应。当外加电场撤去后，晶体内部的应力或变形也随之消失。 纵轴 z-z称作光轴，通过六棱柱棱线而垂直于光轴的轴线x-x称作电轴，垂直于棱面的轴线 y-y称作机械轴。 每个晶体单元中，具有3个硅离子和6个氧离子，氧离子是成对的，构成六边的形状。在没有外力的作用时，电荷互相平衡，外部没有带电现象。 压电效应 右图：硅氧离子排列示意图 下图：石英晶体压电效应示意图 P1、P2、P3—— 偶极矩 压力 拉力 纵向压电效应：沿电轴(x轴)施加作用力，电荷出现在与x轴相垂直的表面上。 横向压电效应：沿机械轴(y 轴)施加作用力，电荷仍出现在与x 轴相垂直的表面上，但极性相反。 横向效应（垂直极化） 纵向效应（平行极化） 石英晶体 压电效应 石英晶体切片 当受到沿X轴方向的应力FX时，产生的极化电荷为： 极间电容为： 极间电压为： 晶体在X方向产生电致伸缩，厚度变形为： 压电常数——表示产生电荷与作用力之间的关系； 弹性模量——表示压电元件的刚度，刚度越大，固有振动频率越高； 电阻率——电阻率越大，压电元件内阻越大，将减少电荷泄漏； 居里点——温度超过居里点时，压电材料的压电性能被破坏。居里点高，压电元件的工作温度范围大。 压电材料主要特征参数 1. 压电晶体——性能优良，压电常数较小，常做标准高精度传感器。 石英（SiO2）——天然或人工合成。具有良好的机械强度和压电效应。压电系数较小，但压电系数的时间和温度稳定性好。在20~200℃内，温度每升高1℃，压电系数仅减小0.016%，升高到200℃ 时，仅减小 5% ，达到573℃ 时，失去压电特性，此温度称为石英的居里点。介电常数为4.5。 主要压电材料 2. 压电陶瓷——如钛酸钡、锆钛酸铅、铌镁酸铅等，由多种材料经烧结合成，制作方便，成本低。压电常数一般比石英高数百倍。现代压电元件大多采用压电陶瓷。缺点是机械强度和居里点较低，高温时容易老化，在一般工业广泛应用。 3. 高分子压电材料——如聚偏二氟乙烯（PVF2）、聚氯乙稀（PVC）等，易于大量生产、面积大、柔软不易破碎，可制成阵列器件，价格便宜。 用于微压和机器人触觉。 4. 压电半导体——具有压电和半导体两种特性，易于集成。 主要压电材料 压电陶瓷极化处理前后电畴变化示意图 极化 正压电效应 逆压电效应 压电传感器相当于电荷发生器，或平板电容器，其电容量为： S ——压电片面积， ε——压电材料介电常数， δ——极板间距。 电容两极板间开路电压为： 压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 等效电路 压电材料有很大内阻R，等效为电压源和电流源的电路分别为： 等效电路 压电传感器本身产生的电荷量很小，且传感器本身的内阻很大，因此输出信号很微弱，给后续测量电路提出很高的要求。 由于传感器的内阻及后续测量电路输入电阻Ri非无限大，电路将按指数规律放电，造成测量误差。为了减小误差，Ri越大越好。 电荷泄漏使得利用压电传感器测量静态或准静态量非常困难。通常压电传感器适宜作动态测量。 实际应用中为了增大输出值，压电传感器往往用两个或两个以上的晶体串联或并联： 压电传感器测量电路特点 并联时，输出电荷量大、电容大、时间常数大； 适宜测量缓变信号和以电荷输出的场合。 串联时，输出电压大、电容小、时间常数小。 适宜测量高频信号和以电压输出的场合。 测量电路 电荷放大器的性能稳定，其输出不受电缆分布电容的影响。