生活中的MEMS讲义.doc

生活中MEMS的应用 微电子学与固体物理学 微机电系统(Microelectro—mechanical system，MEMS)是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS的特点之一就是其涉及电子、机械 、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。 MEMS传感器是采用微机械加工技术制造的新型传感器,是MEMS器件的一个重要分支。1962年,第一个硅微型压力传感器的问世开创了MEMS技术的先河, MEMS技术的进步和发展促进了传感器性能的提升。作为MEMS最重要的组成部分, MEMS传感器发展最快,一直受到各发达国家的广泛重视。美、日、英、俄等世界大国将MEMS传感器技术作为战略性的研究领域之一,纷纷制定发展计划并投入巨资进行专项研究。随着微电子技术、集成电路技术和加工工艺的发展, MEMS传感器凭借体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成以及耐恶劣工作环境等优势,极大地促进了传感器的微型化、智能化、多功能化和网络化发展。MEMS传感器正逐步占据传感器市场,并逐渐取代传统机械传感器的主导地位,已得到消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等各领域的青睐。 MEMS传感器的门类品种繁多,分类方法也很多。按其工作原理,可分为物理型、化学型和生物型三类。按照被测的量又可分为加速度、角速度、压力、位移、流量、电量、磁场、红外、温度、气体成分、湿度、pH值、离子浓度、生物浓度及触觉等类型的传感器。其中每种MEMS传感器又有多种细分方法。如微加速度计,按检测质量的运动方式划分,有角振动式和线振动式加速度计;按检测质量支承方式划分,有扭摆式、悬臂梁式和弹簧支承方式;按信号检测方式划分,有电容式、电阻式和隧道电流式;按控制方式划分,有开环和闭环式。 MEMS传感器不仅种类繁多,而且用途广泛。作为获取信息的关键器件, MEMS传感器对各种传感装备的微型化发展起着巨大的推动作用,已在太空卫星、运载火箭,航空航天设备、飞机、各种车辆、生物医学等领域中得到了广泛的应用。 比如以下几种典型的MEMS传感器： MEMS 压力传感器： 微机电压力传感器是最早开始研制、最早开始产业化的MEMS 产品。从信号检测方式来看，微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类，分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础。目前，压阻式压力传感器的精度可达0.05% ～0.01%，温度误差为0.0002%，耐压可达几百兆帕，过压保护范围可达传感器量程的20倍以上，并能进行大范围下的全温补偿。硅微谐振式压力传感器除了具有普通微传感器的优点外，还具有准数字信号输出，抗干扰能力强，分辨力和测量精度高的优点。并且将敏感元件与信号调理电路高度集成在一块芯片上，大大提高了可靠性和减低制造成本，具有很好的应用前景。 MEMS 加速度计： 运动载体的线运动加速度是通过加速度传感器测量的，硅微加速度传感器是继微压力传感器之后第二个进入市场的 MEMS传感器。其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式，最具有吸引力的是力平衡加速度计。其主要的制造手段是硅片表面微机械工艺和 BiCMOS 技术。目前工程化的 MESM 加速度计精度在国外已达到 100 μg 以内。 MEMS 陀螺仪： 飞行器飞行姿态是用陀螺仪来进行测量的。传统的陀螺仪是利用高速转动的物体具有保持其角动量的特性来测量角速度。常见的 MEMS 陀螺仪有双平衡环结构、悬臂梁结构、音叉结构、振动环结构等，通过被激励的振动体对哥氏加速度的敏感来测量角速度。1988 年，美国德雷伯实验室研制出第一台框架式角振动微机电陀螺仪，1993 年又研制出性能更好的音叉式线振动陀螺仪。影响其应用的主要问题是精度限制，提高精度的手段主要是改进微细加工工艺和误差分离/补偿技术。 微继电器与开关： MEMS技术一直被用来开发静电致动的硅微继电器。这些微继电器很小，速度极快，又很可靠，是取代普通机电式继电器的良品。在需用大量继电器的ATE 和通信应用中，这种技术特别诱人。在 ATE应用如大圆片探测头的多路复用信号中，普通继电器 (如干簧继电器等 )的尺寸往往要求继电器安装在远离探针的某个地方。这意味着需要复杂的布线，增加了测量的迟滞时间。 由于线缆的寄生电容会影响高频测量结果，因而高频测量也成了问题 。硅微机械加工 的继电器很小，可以做成集成的多路复用阵列并直接装在探针卡上 。驱动电路和逻辑电路也可以与微继电器阵列做在一起。这就可以实现毫秒级的响应时间，简化了安装工作，并提供更高的可靠性。 近年来，MEMS传感器在日常生活领域的应用也是异常