LDMOS的参数测试精要.pptVIP

LDMOS的参数测试 一、LDMOS器件电学特性在线测试 采用吉时利直流参数测试系统并配合高压测试探针对制备的LDMOS器件进行在片测试。利用光学显微镜观察器件的具体结构，并用探针给相应的电极加电，只使用探针向器件栅、漏极加电，而源极直接通过衬底与金属吸盘接地。需要测试的电学特性参数有： 1、阈值电压测试 2、击穿电压测试 3、输出特性测试 1、阈值电压测试 测试的方式：固定器件漏源电压为某一值，扫描栅源电压Vgs，得到Ids-Vgs曲线。 设置Ids的一个初始小电流，当增加Vgs扫描得到相同的电流时，此时的Vgs则认定为器件的阈值电压Vt。 当Vgs大于Vt时，Ids迅速增大，则说明器件开启特性良好。 2、击穿电压测试 测试的方式：在栅压为零的条件下，扫描漏源电压Vds，提取Ids-Vds曲线。 设置Ids的一个初始小电流，当增加Vds扫描得到相同的电流时，此时的Vds则认定为器件的击穿电压。 3、输出特性测试 测试的方式：在已知Vt的前提下，保证Vgs大于Vt，以0.2V为步长，开始扫描漏源电压Vds，提取不同Vgs下的Ids-Vds曲线。（例如：Vt为2.6V，可以将栅压从2.8增长到3.8V，步长为0.2V，扫描Vds。） 当Vds很小时，Ids随Vds的增加而增大，表现出电阻特性；当Vds较大时，Ids随Vds的增加，上升速率减小，曲线弯曲并趋于平坦，表现为电流饱和现象；