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第44卷第10期 红外与激光工程 2015年10月
Vol.44No.10 InfraredandLaserEngineering Oct.2015
单层二氧化钛薄膜的偏振散射特性
潘永强,田爱玲,杭凌侠
(西安工业大学 光电工程学院,陕西 西安 710032)
摘 要院为了用散射法研究单层薄膜表面粗糙度的变化规律,以光学薄膜矢量光散射理论为基础,分
析了单层二氧化钛薄膜分别在完全相关和完全非相关模型下的偏振双向反射分布函数,以及P偏振
入射光引起的P偏振的BRDF 随散射方位角的变化关系。理论研究结果表明:随着散射方位角的变
pp
化,P偏振入射光引起的P偏振的BRDF 强烈依赖于膜层界面粗糙度的相关特性。在完全相关模型
pp
下,随着入射角的增加,BRDF 随着散射方位角变化时所出现的谷值会随着入射角的增加而减小。
pp
关键词院薄膜; 矢量光散射; 偏振散射; 偏振双向反射分布函数
中图分类号院O484 文献标志码院A 文章编号院1007-2276(2015)10-3015-05
Polarized light scattering of single titanium dioxide thin film
Pan Yongqiang, Tian Ailing, Hang Lingxia
(School of Photoelectric Engineering, Xi忆an Technological University, Xi忆an 710032, China)
Abstract: In order to study the changing rule of single layer thin film surface roughness using light
scattering, the polarized bidirectional reflectance distribution function (P-BRDF) of the single titanium
dioxide thin film at fully correlated and uncorrelated model were researched respectively based on the
vector scattering theory of optical thin film. The relationship of scattering azimuth angle and BRDF , P-
pp
polarized scattered light caused by P-polarized incident light, was researched. The theoretical results show
that BRDF strongly depends on the correlation between interfaces roughness of thin film and substrate
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with azimuth an
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