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43 卷 8 期 红外与激光工程 2014 年8 月
Vol.43 No.8 Infrared and Laser Engineering Aug.2014
基于大位移柔性结构的动镜支撑机构设计及研究
1,2 1
张明月 ，杨洪波
(1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033 ；
2. 中国科学院大学，北京 100049)
摘 要 针对傅里叶红外光谱仪系统对动镜支撑机构高精度高带宽的要求，采用平行簧片结构设
计了一种动镜柔性支撑机构。首先分析了平行簧片柔性结构的特点，通过理论分析给出了动镜支撑
机构的设计依据，采用有限元方法分析了机构的动态响应和静态响应，同时与两杆移动机构进行了
对比，结果表明结构的一阶固有频率为244.79 Hz ，系统位移为 14 mm 时产生的垂直于移动方 的
生位移为0 .611 滋m ，最大应力值为 131 MPa ，性能明显优于两杆移动机构。通过理论分析和有限元
分析为该机构的深入研究和实际应用奠定了良好的基础。
； ； ；
关键词 支撑机构 簧片 生位移 固有频率
中图分类号 TH744.1 ；O734 文献标志码 A 文章编号 1007-2276 (2014) 08-2595-07
Design and research of moving mirror supporting mechanism based
on large displacement flexible structure
Zhang Mingyue1,2, Yang Hongbo1
(1. Changchun Institute of Optics , Fine Mechanics and Physics , Chinese Academy of Sciences , Changchun 130033, China;
2. University of Chinese Academy of Sciences , Beijing 100049, China)
Abstract: According to the requirements of high resolution and high bandwidth on moving mirror
supporting mechanism in Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy . A moving mirror supporting
mechanism was designed by parallel leaf springs. First, the characteristic of parallel leaf springs was
analyzed; and then, the design basis of moving mirro
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