中红外平面光栅光谱仪系统光学设计和优化.pdfVIP

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第44 卷第2 期 红外与激光工程 2015 年2 月 Vol.44 No.2 Infrared and Laser Engineering Feb.2015 中红外平面光栅光谱仪系统光学设计与优化 1,2 1 1 1,2 刘 洋 ,方勇华 ,李大成 ,李扬裕 (1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽 合肥 230031 ; 2. 中国科学院大学,北京 100049) 摘 要 利用红外热电堆阵列探测器作为光接收器,以小型化且能满足一定光谱工作范围和光谱分 辨率为设计指标,根据光谱仪器设计理论和像差理论,设计了一种 Czerny -Turner 结构中红外平面光 栅光谱仪。系统采用双离轴抛物面镜作为前置光路缩减了光学系统尺寸,采用超环面聚焦镜校正了像 散。运用ZEMAX 设计软件对中红外平面光栅光谱仪的前置光路、色散成像系统进 设计、优化和分 。 析 最终分析结果表明,该系统光谱工作范围为8.04~13.96 滋m ,光谱分辨率优于80 nm ,F 数为2 ,光 学结构特征尺寸约为150 mm伊200 mm伊70 mm ,满足设计指标。 ; ; ; ; 关键词 光学设计 光栅光谱仪 Czerny -Turner 结构 双离轴抛物镜 超环面聚焦镜 中图分类号 TP702 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2015)02-0413-06 Optical design and optimization of a mid-infrared plane grating spectrometer system 1,2 1 1 1,2 Liu Yang , Fang Yonghua , Li Dacheng , Li Yangyu (1. Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics , Chinese Academy of Science , Hefei 230031, China 曰 2. University of Chinese Academy of Sciences , Beij ing 100049, China) Abstract: Using the infrared thermopile array in the system as light receiver, with miniaturization and meet the requirements of certain spectral working range

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