(BTi)nTaN薄膜点火桥的制备及其点火性能.pdfVIP

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  • 2016-05-08 发布于安徽
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(BTi)nTaN薄膜点火桥的制备及其点火性能.pdf

(B/Ti)/TaN 265 n :10069941(2015)03026505 (B/Ti)/TaN n , , , , , ( , 610054)   : , B/Ti TaN (B/Ti)/TaN ( ), TaN n 80 m×40 m×2 m,B/Ti 4mm×4mm, 40 , B 400nm, B Ti μ μ μ 200nm,

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