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—检测技术与仪表—
内蒙古工业大学电力学院自动化系
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第八章 机械量的测量
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• 第一节 概述
位移测量是通过位移传感器将被测位移量的变化转换成电量。目前测量位
移的传感器品种繁多,如电感、变压器、电涡流、电容、电位器等,形成了
各种传感器系列产品。
变阻式
电阻应变片
电感式
电容式
霍尔元件
光栅
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第二节 电涡流式传感器
电涡流效应
当导体置于变化的磁场中或在固定磁场中
运动时,导体内都要产生感应电动势形成电
流,这种电流在导体内闭合的,称为涡流。
电涡流传感器特点: 电涡流传感器可以测量位移、振
结构简单; 动、厚度、转速、温度等参数,
频率响应宽; 并且还可以进行无损探伤和制作
灵敏度高; 接近开关。主要有两种类型:高
抗干扰能力强; 频反射式(应用广泛)和低频透
测量线性范围大; 射式
非接触测量。
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电涡流式传感器的原理
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1、基本原理
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Z F σ,μ,t, r,x ,i,ω( )
若ρ,μ,t,r ,i及ω等参数不变
Z=F(x)
等效电路可列出电路方程组为:
⎧ • • • •
R I +j ωL I −j ωM I E
⎪ 1 1 1 1 2
⎨
⎪− • + • + •
⎩ j ωM I 1 R2 I 2 j ωL2 I 2 0
解得:
⎧• • •
⎪ E E
I
1
⎪ ω2 M 2 R ⎡ ω2 M 2 L ⎤ Z
⎪ R1 + 2 2 2 +j ω⎢L1− 2 2 2 ⎥
( ) ( )
⎨ R2 + ωL2 ⎣ R2 + ωL2 ⎦
⎪ • • •
2
⎪• M I 1 Mω L2 I 1 +j ωMR2 I 1
I
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