7 第七章 应用与检测.pdfVIP

专业选修课程 专业选修课程 Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS) Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS) 微机电系统 第7章 MEMS的应用与检测 第第77章MEMS的应用与检测章 MEMS的应用与检测 MEMS的应用 MEMS的应用 MEMS的集成平台化 MEMS的集成平台化 MEMS的封装 MEMS的封装 MEMS的检测 MEMS的检测 第一部分MEMS的应用 第一部分MEMS的应用 应用—— •光信号处理、生物医学、机器人、汽车、航空、航天、军事和 日用电器等领域 • 已得到广泛的应用，并有巨大潜在的应用前景和经济效益 现状—— 已形成可用性产品，主要是微传感器、微执行器等器件级产品 作用—— •功能上可以开发出许多以往无法实现的产品； •微型化替代以前人类无法完成的某些工作 •可能象微电子一样，引发一场新的技术革命 一、MEMS在军事上的应用 一、MEMS在军事上的应用 武器制导和个人导航芯片上的惯性导航组合 超小型、超低功率无线通信（RF MEMS ）的机电信号处理 军备跟踪、环境监控、安全勘测的无人值导分布式传感器系统 小型分析仪器、推进和燃烧控制的集成微流量系统 武器安全、保险和引信 有条件保养的嵌入式传感器和执行器 高密度、低功耗的大规模数据存储器件 敌友识别系统、显示和光纤开关的集成微光学机械器件 飞机分布式空气动力学控制和自适应光学的主动、共形表面 MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机 特点—— 小、轻、廉价、功能强 作用 低空侦察、通信 近敌电子干扰 携高能炸药攻击敌雷达和通信中枢 战场毁伤评估和生化武器的探测 城市作战，侦察、探测、查找敌对分子、窃听 边境巡逻、毒品禁运 通信中继 环境研究 自然灾害的监视与支援 大型牧场和城区监视等 MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机 军事意义 •减少人员伤亡 •完成一些士兵难以进行的侦察任务 •提高武器作战的消费比、降低军费开支 • 已成为信息战的重要组成部分 代表产品：美国，翼展12.7cm，重量50g，推力0.127N， 飞行速度57-114km/h，飞行距离60-120km，25g甲烷/h MEMS系统的代表——微型军用机器人 6个分系统：传感器系统、信息处理与自主导航系统、通信 系统、机动系统、破坏系统、驱动电源 固定式微型机器人 分布式战场微型传感器网络 探测人员、车辆运动信息，查明敌人军队部署调动 布撒、收集信息方式 移动式微型机器人 以色列微型飞行军事机器人——2007年 昆虫微型机器人 从携带到控制，从体外到体内，欺骗性更大 日本东京大学蟑螂机器人 微型惯性测量组合MIMU （Intertial Measurement Uint-IMU ） 工作原理 陀螺仪测量姿态和转动的角速度，保持对加速度对准的方向 进行跟踪；加速度计测量加速度的变化 典型用途 提供运动物体姿态、位置和速度的信息，各种航空航天平台及 飞行器的制导系统 代表产品 美国德雷珀实验室，尺寸2cm×2cm×0.5cm，质量约5g，陀 螺的漂移不稳定性10°/h，加速度计精度为250μg 作为微执行器的特点 寿命、可靠性高（无转动的部件） 成本 体积和重量 微型加速度传感器在侵彻武器引信中的应用 侵彻武器概念与作用 美国在90年代初期开始研究硬目标灵巧引信（ETSF） 要求 •大量程、高g值——测量量程在几万g到十几万g •很好的抗过载能力——硅材料内部缺陷少 典型产品 美国ENDEVCO公司，90年代，20万g，压阻式加速度微传 感器，7270A 二、MEMS在汽车上的应用 二、MEMS在汽车上的应用 传感器对汽车的作用： 汽车是传感器第二大市场，每台车40到上百个传感器 汽车发展趋势（智能化）需要更多传