双面SI条两维位置灵敏探测器的研制.pptVIP

双面Si条两维位置灵敏探测器的研制 谭继廉 靳根明 李占奎 徐瑚珊 李海霞 韩励想 魏计房 戎欣娟 王秀华 卢子伟 张宏斌 王柱生 祖凯玲 鲍志勤 李春艳 龚伟 （中国科学院近代物理研究所 兰州 730000） 田大宇 于 民 王金延 张 录 （北京大学微电子所 北京 100871） 摘要：介绍了在核物理和高能物理实验研究中使用的新型探测器--双面硅条两位位置灵敏探测器的结构，工作原理，制备工艺及测试结果。该探测器的灵敏面积为50×50 mm2,前面和背面都被分为相等宽度的16条（每条的面积为50×3mm2）,在微电子工艺线上采用平面工艺和离子注入技术制备。在-25伏偏压下，各条的反向漏电流都10nA,对前面16条的能量分辨进行了初步测量，得到2.2%的能量分辨率（对5.486MeVα-粒子）。 关键词：平面工艺 双面Si 条探测器 反向漏电流 能量分辨 在不能太多增加束流时间的条件下，对实验测量精度提出了更高要求。特别是在放射性束核物理实验研究中，为了更精确地确定反应产物的空间位置，以及两个出射粒子之间的关联，需要在更大的角度范围内对出射产物进行测量。 利用双面硅条探测器可以同时在很大的角度范围内对出射产物进行关联测量，从而大大节省宝贵的束流时间。 双面硅多条探测器12# 实物照片 （正面）