MPIIID制备TiAlN涂层的高温抗氧化及摩擦性能.pdfVIP

第 ３１卷　第２期 摩 擦 学 学 报 Ｖｏｌ３１　Ｎｏ２ ２０１１年３月 Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ Ｍａｒ，２０１１ ＭＰＩＩＩＤ制备ＴｉＡｌＮ涂层的高温抗氧化及摩擦性能  解志文，王浪平 ，王小峰，闫久春，黄　磊，陆　洋 （哈尔滨工业大学 现代焊接生产技术国家重点实验室，黑龙江 哈尔滨　１５０００１） 摘　要：采用多源等离子体注入与沉积（ＭＰＩＩＩＤ）装置制备了不同Ａｌ含量的ＴｉＡｌＮ涂层，利用 Ｘ射线能谱仪 （ＥＤＸ）、扫描电镜（ＳＥＭ）、Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）、纳米探针和摩擦试验对涂层的组成以及高 温抗氧化和摩擦性能进行分析．结果表明：Ａｌ元素的加入明显提高了涂层的高温抗氧化能力，生成的ＡｌＯ 能有效 ２ ３ 地抑制氧的扩散；当Ａｌ的原子百分数为６．１８％时，涂层硬度最高，约为３８ＧＰａ，涂层具有良好的摩擦磨损特性． 关键词：多源等离子体注入与沉积（ＭＰＩＩＩＤ）；ＴｉＡｌＮ涂层；氧化；摩擦 中图分类号：ＴＢ４３ 文献标志码：Ａ 文章编号：１００４－０５９５（２０１１）０１－０１７５－０６ ＨｉｇｈＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＯｘｉｄｉｚａｔｉｏｎＲｅｓｉｓｔａｎｃｅａｎｄＷｅａｒＰｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆＴｉＡｌＮＣｏａｔｉｎｇｓＤｅｐｏｓｉｔｅｄｂｙＭＰＩＩＩＤ  ＸＩＥＺｈｉ－ｗｅｎ，ＷＡＮＧＬａｎｇ－ｐｉｎｇ，ＷＡＮＧＸｉａｏ－ｆｅｎｇ，ＹＡＮＪｉｕ－ｃｈｕｎ，ＨＵＡＮＧＬｅｉ，ＬＵＹａｎｇ （ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆ ＡｄｖａｎｃｅｄＷｅｌｄｉｎｇＰｒｏｄｕｃｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５０００１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｉＡｌＮｃｏａｔｉｎｇｓｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔＡｌｃｏｎｔｅｎｔｓｗｅｒｅｐｒｅｐａｒｅｄｂｙｍｕｌｔｉ－ｐｌａｓｍａｉｍｍｅｒｓｉｏｎｉｏｎｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎａｎｄ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＭＰＩＩＩＤ）．Ｔｈｅｈｉｇｈｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｏｘｉｄｉｚａｔｉｏｎｒｅｓｉｓｔａｎｃｅａｎｄｗｅａｒｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｔｈｅｓｅｃｏａｔｉｎｇｓｗｅｒｅｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄｂｙ ｅｎｅｒｇｙｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅＸ－ｒａｙ（ＥＤＸ），ｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ（ＳＥＭ），Ｘ－ｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ（ＸＲＤ），Ｘ－ｒａｙ ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ（ＸＰＳ），ｎａｎｏ－ｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎ，ｆｒｉｃｔｉｏｎｔｅｓｔｓ．ＲｅｓｕｌｔｓｒｅｖｅａｌｅｄｔｈａｔＴｉＡｌＮｃｏａｔｉｎｇｐｏｓｓｅｓｓｅｄｂｅｔｔｅｒ ｏｘｉｄａｔｉｏｎｒｅｓｉｓｔａｎｃｅｂｅｃａｕｓｅａｐｒｏｔｅｃｔｉｖｅＡｌＯｌａｙｅｒｃａｎｅｆｆｅｃｔｉｖｅｌｙｉｎｈｉｂｉｔｔｈｅｄｉｆｆｕｓｉｏｎｏｆｏｘｙｇｅｎｉｎｔｏｔｈｅｃｏａｔｉｎｇ．Ｗｈｅｎ ２ ３ ｔｈｅｃｏｎｃｅｒｎｔｒａｔｉｏｎｏｆＡｌｒｅａｃｈｅｄ６．１８％，ｔｈｅｃｏａｔｉｎｇｈａｄｔｈｅｈｉｇｈｅｓｔｈａｒｄｎｅｓｓｏｆ３８ＧＰａａｎｄｅｘｃｅｌｌｅｎｔｗｅａｒｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｍｕｌｔｉ－ｐｌａｓｍａｉｍｍｅｒｓｉｏｎｉｏｎｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎａｎｄｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＭＰＩＩＩＤ），ＴｉＡｌＮｃｏａｔｉｎｇ，ｏｘｉｄａｔｉｏｎ，ｆｒｉｃｔｉｏｎ 　　近年来，随着高速切削工业的发