金属薄膜光电性质的尺寸效应及输运理论.pdf

金属薄膜泪电性质的尺寸效应及输运理论/范 平 膜的输运理论。从理论上对金属薄膜电导特性的尺寸效应进行了研究，并将建立 的新的金属薄膜的电输运理论得到的电导率公式与论文得到的Co膜、Cu膜和 Mo膜的实验结果比较，理论结果与实验结果符合得很好。弥补F-S理论在较薄 厚度时与实验结果不相符的缺陷。讨论了应用金属薄膜连续性电学特性特征判据 的最小连续膜厚理论计算公式。然后，重点讨论了金属薄膜的电阻率。建立的金 属薄膜的半经典电输运理论解释了通常被认为是量子尺寸效应的典型例子的Pt 薄膜和Bi薄膜的实验结果。因此，建立的金属薄膜电输运理论也适用于超薄金 属薄膜。 最后，讨论了金属薄膜的电阻率温度系数和热电势。本文得到的理论结果与 实验结果在网状膜和连续膜时符合得很好。 关键词:金属薄膜 光学特性 电学特性 尺寸效应 输运理论 最小连续膜厚 中科院上海光机所研究生毕业论又12005年 Sizeeffectofoptical/electricalpropertiesandtransport theoryofmetallicfilms FanPing Directedby:Shao.Tiianda,FanZhengxiu Abstract Followingadvancesinmicrofabricationofnano-materialandnanostructures suchasmetallicmultilayers,sinceathinmetallicfilmisbasicunitsofmetallic multiplayer,theoreticalapproachestothetransportinmetallicfilmshavebeenwiddly appliedtometallicmultilayers.Besides,investigationsinconnectionwiththemetallic filmsthemselveshavealsobeeninterestingandimportant. Mo,CoandCufilmsofdifferentthicknesseshavebeenpreparedbyIon-beam Sputtering.ThereflectanceandtransmittanceofMo,CoandCufilmsintherangeof 310nm to 1300nm havebeenmeasuredbyLambda-900spectrophotometer. Relationshipsbetweenreflectance,transmittance,absorptanceandthicknessofMo, CoandCufilmsinthewavelengthesselectedhavebeendiscussed.Theresults showedthattheopticalpropertiesofMo,CoandCufilmshaveobvioussizeeffect. Theresistivitieshavebeenmeasuredbyafour-probetechnique.Relationships betweenelectricconductivityandthicknessofMo,CoandCufilmsaregiven.The resultsshowthattheelectricalpropertiesofMo,CoandCufilmshaveobvioussize effect. Consideringtheresultsobtainedrfomthepropertiesmeasurementandanalyses ofthestructureofmetallicfilms,characteristicsofphysicalpropertiesofdifferent growthstageofmetallicfilmshavebeenstudied.Acharacteristiccriterionofthe opticalproperties