检漏仪维修操作说明SmartTest摘要.ppt

Helium Leak Detector 产品规格介绍 HLT 560 HLT 565 HLT 570(Dry) HLT 572 (Dry) 最小测漏率(mabr l/s) 5.10-12 5.10-12 5.10-12 5.10-12 分子泵型式 分流式 分流式 分流式 分流式 前级抽速(m3/h) 5 30 2 7.5 启动时间(min) 3 3 3 3 反应时间(s) 0.5 0.5 0.5 0.5 最大进口压力(mbar) 25 25 25 25 内部校准泄露 标准 标准 标准 标准 自动校准功能 有 有 有 有 附小车 无 有 无 有 产品结构及功能介绍 检漏仪显示面板 此控制面板包含了controller、 display，对于使用者而言，操作 简单(one touch) 。 Controller：Start、Stop、 Zero、 Setup…. Display：漏率显示、状态显示 、操作显示、参数显示…. 离子源 / Ion source 材质为 iridium / yttrium 使用寿命长。 (其他品牌材质为 wolfram) 2 cathodes 设计，若其中一组损毁机台会自动切换至第二组。 质谱管 / Mass spectrometer Mass spectrometer 180°离子轨域及 filter 设计，不但提高对于侦测气体之灵敏性，更加强了漏率之准确性。 油雾分离器 / Oil mist filter 在前级搭配油式机械泵(Rotary vane pump)，氦气测漏仪之型号中 (HLT 260 、HLT 265) ，配置油雾分离器(oil mist filter) 可以分离油气,避免造成工作环境之污染。 分子泵 / Turbo pump 真空阀组 / Valve block 测试方式介绍 (Vacuum Sniff) 正压测试 (Sniffer mode) 将待测物体利用示踪气体 (4He，3He，H2) 施加内压， 并利用 Sniffer probe 于待测物体外侧检漏可能之漏点。 负压测试 (Vacuum mode) 将待测之腔体连接上氦气测漏仪之 test port，以真空 装置或氦气检漏仪 (本身为 vacuum sysytem) 对待测 系统做抽真空，使其压力低于25 mbar,再于可能的泄 漏点喷少许示踪气体检漏。 产品设计优点 业界最高的入口压力 25 mbar，即可进入检漏状态 独一无二的外接真空计功能，可直接在检漏仪面板上显示系统真空度 Roughing pump 选择性高 Vacuum + Sniff 为标准配备 内置标准漏率棒,可自动校准 产品设计优点 模块化设计便于维护和维修