辊筒模具加工技术_20130829-update.pptxVIP

微 纳 米 压 印 辊 筒 - 模具加工技术 王 必 昌 2013.09.05 1 Contents 2 3 Production Chain R2R UV Imprinting 技术 涂布头 UV胶 放卷 结构轮 UV照射 收卷 4 UV固化成型技术优势 低污染，安全性高，无溶剂或低溶剂量 配合冷却设备可达低温硬化，耐热性较差之素材亦可使用，提高选用弹性，节省能源 设备空间小 结构转写性佳 (vs hot embossing/ extrusion) 低压制程 (vs hot embossing/extrusion) 5 UV固化成型实例 - Prism 6 超精密滚筒模具加工机 内 容 精 度 位置精度 X 轴 ± 0.3 μm up to 300mm Z 轴 ± 1.5 μm up to 2,800mm 主轴(C轴)位置精度 ± 1 秒 7 超精密滚筒模具加工技术 8 加工实例 9 快刀伺服(FTS)加工 10 利用PZT stage和加工机的高速运动进行高精度3次元微细形状的加工 条数 实测值(mm) 设计值(mm) 误差 100 33.6405 33.64 0 500 168.189 168.2 0.011 1000 336.38237 336.4 0.01763 2000 672.78203 672.8 0.01797 3268 1099.33667 1099.3552 0.01853 加工精度测量- Lenticular lens 11 滚筒或平板模具 - 镀层处理 12 NiP/Cu加工材料电镀线 13 雾面(亚光)滚筒模具加工 滚轮模具喷砂原理 14 雾面结构分析 项目 雾镍70 喷砂50 喷砂58 喷砂62 平面图1000X 3D图 备注 Haze%:70.8， 透过率%：96.6 Ra值为1.369um 高度差为7.357um Haze%:49.3 透过率%：94.3 Ra值为0.307um 高度差为1.294um Haze%:58.5 透过率%：95.2 Ra值为0.342um 高度差为1.823um Haze%:62. 透过率%：95.8 Ra值为0.415um 高度差为2.264um 15 超镜面滚筒抛光加工 16 镜面滚筒抛光结果 NiP plated roller after cutting(L=1500mm, Dia.=270mm) 17 Cr plated roller (L=1500mm, Dia.=270mm) KDX模具事业部设备能量 18 Mechanism of Laser Ablation 微渣飛濺 19 NS/PS Laser 加工比较 20 图像信号控制激光光强连续不断作用于金属表面 图像信号控制激光光强 3D 数据完整复制到滚筒表面 多次雕刻深度最大达800um 成像轮廓平滑逼真无“台阶“实现真正意义上的3D 大功率激光直写加工 21 激光直写雕刻机 22 加工实例 23 Laser Lithography 加工图例 24 光阻显影后直接做DLC coating 后用于生产。 省掉传统方式须蚀刻Cu及电镀 Cr的过程 DLC 技术 25 AR 反射膜之模具开发 利用自组装原理在表面形成具次波长光学效果之次微米结构数组的模具, 利用UV固化成型制作出具AR效果之光学膜 26 AR 抗反射膜样品 27 总 结 28 Thank You 29