第八章薄膜材料的制备详解.ppt

第8章 薄膜材料的制备 薄膜材料在现代科学技术中应用广泛，其制备技术发展也十分迅速。 制备方法→分为物理和化学两大类方法： 本章介绍薄膜常用制备方法及其原理、工艺、设备等。 薄膜材料的分类 按化学组成分为： 无机膜、有机膜、复合膜； 按相组成分为： 固体薄膜、液体薄膜、气体薄膜、胶体薄膜； 按晶体形态分为： 单晶膜、多晶膜、微晶膜、 纳米晶膜、超晶格膜等。 按薄膜的功能及其应用领域分为： 电学薄膜 光学薄膜 硬质膜、耐蚀膜、润滑膜 有机分子薄膜 装饰膜 、包装膜 （1）电学薄膜 ①半导体器件与集成电路中使用的导电材料与介质薄膜材料：Al、Cr、Pt、Au、多晶硅、硅化物、SiO2、Si3N4、Al2O3等的薄膜。 ②超导薄膜：特别是近年来国外普遍重视的高温超导薄膜，例如YBaCuO系稀土元素氧化物超导薄膜以及BiSrCaCuO系和TlBaCuO系非稀土元素氧化物超导薄膜。 ③薄膜太阳能电池：特别是非晶硅、CuInSe2和CdSe薄膜太阳电池。 （2）光学薄膜 ①减反射膜 例如照相机、幻灯机、投影仪、电影放映机、望远镜、瞄准镜以及各种光学仪器透镜和棱镜上所镀的单层MgF2薄膜和双层或多层（SiO2、ZrO2、Al2O3、TiO2等）薄膜组成的宽带减反射膜。 ②反射膜 例如用于民用镜和太阳灶中抛物面太阳能接收器的镀铝膜；用于大型天文仪器和精密光学仪器中的镀膜反射镜；用于各类激光器的高反射率膜（反射率可达99%以上）等等。 （3）硬质膜、耐蚀膜、润滑膜 ①硬质膜 用于工具、模具、量具、刀具表面的TiN、TiC、TiB2、(Ti,?Al)N、Ti(C,?N)等硬质膜，以及金刚石薄膜、C3N4薄膜和c-BN薄膜。 ②耐蚀膜 用于化工容器表面耐化学腐蚀的非晶镍膜和非晶与微晶不锈钢膜；用于涡轮发动机叶片表面抗热腐蚀的NiCrAlY膜等。 ③润滑膜 使用于真空、高温、低温、辐射等特殊场合的MoS2、MoS2-Au、MoS2–Ni等固体润滑膜和Au、Ag、Pb等软金属膜。 （4）有机分子薄膜 有机分子薄膜也称LB（Langmuir-Blodgett）膜，它是有机物，如羧酸及其盐、脂肪酸烷基族和染料、蛋白质等构成的分子薄膜，其厚度可以是一个分子层的单分子膜，也可以是多分子层叠加的多层分子膜。多层分子膜可以是同一材料组成的，也可以是多种材料的调制分子膜，或称超分子结构薄膜。 （5）装饰膜、包装膜 ① 广泛用于灯具、玩具及汽车等交通运输工具、家用电气用具、钟表、工艺美术品、“金”线、“银”线、日用小商品等的铝膜、黄铜膜、不锈钢膜和仿金TiN膜与黑色TiC膜。 ② 用于香烟包装的镀铝纸；用于食品、糖果、茶叶、咖啡、药品、化妆品等包装的镀铝涤纶薄膜；用于取代电镀或热涂Sn钢带的真空镀铝钢带等。 8.1 薄膜的形成机理 一、分类 电子显微镜对薄膜蒸镀过程观察，发现其生长可以分为如下三种类型： 核生长类型： 特点：到达衬底表面的沉积原子先凝聚成核，然后到达的原子不断聚集在核附近，使核在三维方向上不断长大而最终形成薄膜。 这种类型的生长一般在衬底晶格和薄膜晶格不匹配时出现，大部分薄膜的形成过程属于这种类型。 薄膜生长的四个阶段： 成核，在此期间形成许多小的晶核，按统计规律分布在衬底表面上； 晶核长大并形成较大的岛，这些岛常具有小晶体的形状； 岛与岛之间聚接形成含有空沟道的网络； 沟道被填充。在薄膜的生长过程中，当晶核一旦形成并达到一定大小后，另外再撞击的粒子不会形成新的晶核，而是依附在已有的晶核上或已经形成的岛上。分离的晶核或岛逐渐长大彼此结合便形成连续薄膜。 2. 层状生长 特点：沉积原子在衬底表面以单原子层的形式均匀地涂覆一层，然后再在三维方向上生长第二层、第三层……。 一般在衬底原子与蒸发原子之间的结合能接近于蒸发原子之间结合能的情况下（共格）发生这种生长方式。 以这种方式形成的薄膜，一般是单晶膜并且与衬底具有确定的取向关系，例如在Au衬底上生长Pb单晶膜，在PbS衬底上生长PbSe单晶膜。 3.层核生长 特点：是生长机制的中间状态，在衬底原子与沉积原子之间的键能大于沉积原子相互之间键能（准共格）的情况下多发生这种方式的生长。 在半导体表面形成金属膜时，常呈现这种方式的生长，例如在Ge表面沉积Cd，在Si表面沉积Bi、Ag等都属于这种类型。 在薄膜的三种生长方式中，核生长型最为普遍，理论上也较为成熟，我们主要讨论这种类型的形成机理。 凝聚系数： α＝衬底上凝聚原子数目/入射原子的总数≤1 α与蒸发物质、入射原子密度、衬底温度、膜厚因素有关，且不是常数。 8.2 物理气相沉积（PVD） 物理气相沉积→Physical Vapor Deposition, P