传感器原理及应用第1章详解.pptVIP

* * * 国家高技术研究发展计划（863计划） 1986年3月，面对世界高技术蓬勃发展、国际竞争日趋激烈的严峻挑战，邓小平同志在王大珩、王淦昌、杨嘉墀和陈芳允四位科学家提出的“关于跟踪研究外国战略性高技术发展的建议”上，做出“此事宜速作决断，不可拖延”的重要批示。在充分论证的基础上，党中央、国务院果断决策，于1986年11月启动实施了“国家高技术研究发展计划，简称863计划”。 国家重点基础研究发展计划（973计划） ?1997年6月4日，原国家科技领导小组第三次会议决定要制定和实施《国家重点基础研究发展规划》，随后由科技部组织实施了“国家重点基础研究发展计划，亦称973计划”。 国家自然科学基金 * 气物理量特点：遵从统计规律。 在有些学科领域，传感器又称为敏感元件、检测器、转换器等。这些不同提法，反映了在不同的技术领域中，只是根据器件用途对同一类型的器件使用着不同的技术术语而已。如在电子技术领域，常把能感受信号的电子元件称为敏感元件，如热敏元件、磁敏元件、光敏元件及气敏元件等，在超声波技术中则强调的是能量的转换，如压电式换能器等。这些提法在含义上有些狭窄，因此传感器一词是使用最为广泛而概括的用语。 * 当被测压力增大时，弹簧管撑直，通过齿条带动齿轮转动，从而带动电位器的电刷产生角位移。 * * 外光电效应，爱因斯坦方程。 * 内光电效应：光电导效应，光胜伏特效应。 * 守恒定律是自然界最基本的定律，它包括质量、能量、动量和电荷量等守恒定律。例如：在流量检测方法中，毕托管流量计、节流式流量计和均速管流量计等都利用了能量守恒定律。 统计法则是利用统计方法把微观系统与宏观系统联系起来的物理法则。奈奎斯特（Nyquist）定理是统计法则在检测技术中应用的一个例子。由统计物理可知，电子热运动的涨落，在电阻的两端产生热噪声的电压波动。利用热噪声电压和绝对温度的关系可以构成热噪声型热敏电阻，从而进行绝对温度的检测。虽然从理论上讲，应用这种热噪声型温度检测方法具有测温范围宽、准确度高（与敏感元件的材料无关）等优点，但热噪声电压 极小，直接测量困难较大。另外有关统计法则在检测技术中应用的理论研究尚深入，因此，基于统计法则的参数检测目前应用还较少。 * 场的定律是关于物质作用的定律，如动力场的运动定律、电磁场的感应定律和光的电磁场的干涉现象等。应用场的定律来检测有关参数，其敏感元件的形状、尺寸等参数决定了检测系统的量程、灵敏度等性能，它具有较大的设计自由度、对材料的限制较小等优点，但体积一般较大，不易集成，环境干扰对敏感元件的输出影响较大。 物质定律是关于各种物质本身内在性质的定律、法则和规律。物质的内在性质通常以这种物质所固有的物理量加以描述，它与物质的材料密切相关。物质的电阻是最常见的物理量之一，由于它易测量，准确度高，在检测技术中经常利用材料的电阻与被测量之间的关系实现参数检测。例如，金属导体以及许多非金属半导体物质在受压、受热、受光照等情况下，表现出其电阻值有明显的变化。根据这一特性，可分别进行压力、温度和光强等参数的测量。基于物质定理的参数检测具有敏感元件体积小、无可动部件、反应快、灵敏度高、稳定性好、易集成等优点，因此在检测技术中有广阔的应用前景。 传感技术的发展分为两个方面： ●提高与改善传感器的技术性能； ●寻找新原理、新材料、新工艺及新功能等。 一、改善传感器的性能的技术途径 1、差动技术 差动技术是传感器中普遍采用的技术。它的应用可显著地减小温度变化、电源波动、外界干扰等对传感器精度的影响，抵消了共模误差，减小非线性误差等。不少传感器由于采用了差动技术，还可使灵敏度增大。 传感器技术的发展趋势 2、平均技术 作用： 在传感器中普遍采用平均技术可产生平均效应。 原理：利用若干个传感单元同时感受被测量，输出则是这些单元输出的平均值，若将每个单元可能带来的误差均可看作随机误差且服从正态分布，根据误差理论，n个传感单元数总的误差将减小为 在传感器中利用平均技术不仅可使传感器误差减小，且可增大信号量，即增大传感器灵敏度。 传感器技术的发展趋势 3、补偿与修正技术 补偿与修正技术的运用大致针对两种情况： ★ 针对传感器本身特性 ★ 针对传感器的工作条件或外界环境 对于传感器特性，找出误差的变化规律，或者测出其大小和方向，采用适当的方法加以补偿或修正。 针对传感器工作条件或外界环境进行误差补偿，也是提高传感器精度的有力技术措施。不少传感器对温度敏感，由于温度变化引起的误差十分可观。为了解决这个问题，必要时可控制温度，用恒温装置，但往往费用太高，或使用现场不允许。而在传感器内引入温度误差补偿又常常是可行的。这时应找出温度对测量值影响的规律