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山东大学学士学位论文  PAGE \* MERGEFORMAT I 感光鼓沉积类金刚石碳膜的产业化 研究技术报告 摘要 摘要 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u   HYPERLINK \l _Toc420788333 摘要  PAGEREF _Toc420788333 \h I  HYPERLINK \l _Toc420788334 ABSTRACT  PAGEREF _Toc420788334 \h III  HYPERLINK \l _Toc420788335 第一章 绪论  PAGEREF _Toc420788335 \h 1  HYPERLINK \l _Toc420788336 1.1 硒鼓  PAGEREF _Toc420788336 \h 1  HYPERLINK \l _Toc420788337 1.1.1 硒鼓的现状  PAGEREF _Toc420788337 \h 1  HYPERLINK \l _Toc420788338 1.1.2 废弃硒鼓的危害  PAGEREF _Toc420788338 \h 1  HYPERLINK \l _Toc420788339 1.1.3 硒鼓的组成  PAGEREF _Toc420788339 \h 1  HYPERLINK \l _Toc420788340 1.2 感光鼓  PAGEREF _Toc420788340 \h 2  HYPERLINK \l _Toc420788341 1.2.1 感光鼓的分类  PAGEREF _Toc420788341 \h 3  HYPERLINK \l _Toc420788342 1.2.2 感光鼓的结构  PAGEREF _Toc420788342 \h 4  HYPERLINK \l _Toc420788343 1.2.3 感光鼓的工作原理  PAGEREF _Toc420788343 \h 4  HYPERLINK \l _Toc420788344 1.3 类金刚石碳(DLC)膜  PAGEREF _Toc420788344 \h 6  HYPERLINK \l _Toc420788345 1.3.1 DLC膜的结构  PAGEREF _Toc420788345 \h 7  HYPERLINK \l _Toc420788346 1.3.2 DLC膜的分类  PAGEREF _Toc420788346 \h 7  HYPERLINK \l _Toc420788347 1.3.3 DLC膜的生长机理  PAGEREF _Toc420788347 \h 8  HYPERLINK \l _Toc420788348 1.3.4 DLC膜的制备方法  PAGEREF _Toc420788348 \h 9  HYPERLINK \l _Toc420788349 1.3.5 DLC膜的性能及应用  PAGEREF _Toc420788349 \h 11  HYPERLINK \l _Toc420788350 1.3.6 DLC膜存在的主要问题  PAGEREF _Toc420788350 \h 12  HYPERLINK \l _Toc420788351 1.4 课题研究背景及意义  PAGEREF _Toc420788351 \h 14  HYPERLINK \l _Toc420788352 1.5 本课题研究内容  PAGEREF _Toc420788352 \h 14  HYPERLINK \l _Toc420788353 第二章 实验方法与原理  PAGEREF _Toc420788353 \h 16  HYPERLINK \l _Toc420788354 2.1 实验方法  PAGEREF _Toc420788354 \h 16  HYPERLINK \l _Toc420788355 2.1.1 RF-PECVD的原理  PAGEREF _Toc420788355 \h 16  HYPERLINK \l _Toc420788356 2.1.2 RF-PECVD的特点  PAGEREF _Toc420788356 \h 17  HYPERLINK \l _Toc420788357 2.1.3 RF-PECVD的主要工艺参数  PAGEREF _Toc420788357 \h 17  HYPERLINK \l