硬脆材料环形电镀金刚石线锯加工试验的研究.doc

本文由chenchao801201贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 维普资讯 ２０ ０ ７年 ６月 　 金刚石与磨料磨具工程　 Ｄ ａ ｎ ＆ Ａｂ ａ ｉｅ 　 ｇｎ ｅ ｎ 　 ｉ ｍｏ ｄ ｒｓｖ ｓＥｎ ｉ ｅ ｒ ｇ ｉ Ｊｎ．０ ７ ｕ ｅ２ ０　 Ｓ ｉａ ． ５ 　 Ｎｏ ３ ｅｒ １ １ ９ ．　 第 １９期 ５ 第 ３期　 文章编 号 ：０ ６— ５ Ｘ（０ ７ ０ ０ ５ ０　 １０ ８ ２ ２０ ）３— ０６— ４ 硬 脆 材 料 的环 形 电镀 金 刚石 线 锯 加 工 试 验 研 究　 盂剑峰 韩 云鹏 葛培琪　 （ 山东大学 济南 ２０ ６ ） ５ ０ １　 摘 要 本文利用环形 电镀金刚石线锯对硬脆材料 单晶硅 、Ｔ ５陶瓷进行 了切割试 验 ， 究 了锯切 力 、 料加 工表面质　 Ｌ５ 研 材 量及锯丝 的磨损。研究发现 ， 相同加工参数下 ， 在 切割 Ｌ ５ Ｔ ５陶瓷时 的法 向力 与切 向力之 比小于单 晶硅 ， 与磨 削相 比 ， 线　 锯 加工的法 向力与切 向力之 比非 常小 ； 在本实验条件下 ， 单晶硅 和 Ｌ ５ Ｔ ５陶瓷 均为脆性 去除方 式 ； 因为 Ｌ ５ Ｔ ５陶瓷 断裂韧　 性高 ， 同样 加工条件下 ， 在 陶瓷加 工表 面质 量优 于单晶硅 ； 恒进 给压力条件下 ， 锯丝速度增 加 ， 粗糙 度值 略微减小 ， 恒进 给　 压力增加 ， 粗糙 度值明显增大 ； 丝首 先在焊 口处断裂 ， 锯 由于锯丝不 能 自转 ， 沿锯丝 圆周方 向磨损不 均匀 。 　 关键词 硬脆材料 ； 环形电镀金刚石线锯 ； 加工试验　 Ｔ １４ Ｑ ６　 文献 标 识 码 Ａ 　 中图 分 类 号 Ｃｕｔｉ ｇ ｈａ ｄ－ ｉｔｅ ｍ ａ ｅ ｉ ｌ　 ｔ 　 ｎ ｌ ｓ　 ｔｎ 　 ｒ ｂｒｔｌ　 ｔｒａ ｓｗｉｈ ｅ ｄ ｅ ｓ ｅｅ ｔ ｏ ｌ ｔ ｄ ｄｉｍ ｏ ｄ ｗｉｅ ｓ ｗ　 ｌｃ ｒ ｐ ａ ｅ 　 ａ ｎ 　 ｒ 　ａ Ｍｅ ｇ Ｊａ ｆ ｎ 　 Ｈａ 　 ｎ ｅ ｇ Ｇｅ Ｐｅｑ ｎ 　 ｉｎｅ ｇ ｎ Ｙｕ ｐ ｎ 　 　 ｉｉ 　 （ ｈ ｎ ｄ ｎ 　 ｎ ｅ ｉ ，ｉ ｎ２ ０ ６ ， ｈｎ ） Ｓ ａ ｇ ｏｇ Ｕ ｉ ｒ ｔ Ｊ ａ 　５ ０ １ Ｃ ｉａ　 ｖ ｓｙ ｎ Ａｂ ｔ ａ ｔ Ｔ ｅ ｃ ｔ ｎ 　ｘ ｅ ｍｅ ｔ ｆ ｉ ｃ ｎ ａ ｄ Ｌ ５ 　 ｅ ａ ｃ ｕ ｉ ｇｅ ｄ ｅ ｓｅｅ ｔ ｐ ａｅ 　 ｉ ｏ ｄ ｗ ｒ　 ａ 　 ｓｃ ｎ ｕ ｔ ｄ ｈ 　 ｓｒ ｃ 　 ｈ 　 ｕｔ ｇ ｅ ｐ ｒ ｎ 　 　 ｌ ｏ 　 ｎ 　 Ｔ ５ ｃ ｒｍｉ　 ｓ 　ｎ ｌ ｓ　 ｌｃ ｒ ｌｔ ｄ ｄａ ｎ 　 ｉｅ ｓ ｗ ｗａ 　 ｏ ｄ ｃｅ ．Ｔ ｅ ｉ ｉ ｏｓｉ ｎ ｏ ｍ ｃ ｔ ｎ 　ｏ ｃ ，ｃ ｔ ｎ 　 ｕ ｆ ｃ ｓｑ ａｉ 　 ｎ 　 ｅ ｒｏ 　 ｒ 　 ａ ｗ ｒ 　 ｔ ｄｅ ．Ｔ ｅ ｎ ｒ ｌ ｏ ｔｎ ｅ ｔ ｌ ｏ ｃ 　ａ ｉ　 ｅ 　 ｕ ｔ ｇ Ｌ ５ 　 ｕ ｔ ｇｆ ｒ ｅ ｕ ｔ ｇ ｓ ｒａ ｅ 　 ｕ ｌ ｙ ａ ｄ ｗ ａ 　 ｆ ｅ ｓｗ　 ｅ ｓ ｉｄ ｉ ｉ ｔ ｉ ｗ ｅ ｕ ｈ 　 ｏ ｍａ － －ａ ｇ ｎｉ 　 ｒｅ ｒｔ ｗｈ ｎ ｃ ｔ ｎ 　 Ｔ ５ ｔ ａｆ ｏ ｉ ｃ ｒ ｍｉ　ｓ ｌｓ　ｈ 　ｈ ｔｗ ｅ 　 ｕｔ ｇ ｓ ｉｏ ．Ｔ ｅ ｎ ｒ ａ － －ａ ｇ ｎ ｉｌ ｏ ｃ 　ａｉ　ｎ ｗｉ 　ａ 　 ｕ ｔ ｇ ｉ ｌｓ 　 ａ 　 　 ｒｎ ｉ ｇ ｅ ａ ｃ ｉ ｅ ｓｔ ａ ｔ ａ　 ｈ ｎ ｃ ｔ ｎ 　ｉ ｃ ｎ ｈ 　 ｏ 　 ｎ ｉ ｌ ｍ ｌｔ ｔ ｎ ｅ ｔ 　 ｒ ｅ ｒ ｔ ｉ　 ｒ ｓ ｗ ｃ ｔ ｎ 　ｓ ｅ ｓｔ ｎ ｉ ｇ ｉ ｄ ｎ ．Ｏ 　 ｏ ａｆ ｏ ｅ ｉ 　 ｈ ｎ ｎ ｔ ｅ ｃ ｎ ｉ ｏ 　 ｆ ｘ ｅ ｍｅ ｔ ｉ ｃ ｎ ａ ｄ Ｌ ５ 　 ｅ ａ ｃｗｅ ｅｒ ｍｏ ｅ 　ｎ ａｂ ｔ ｅ ｒ ｇｍｅ ｈ 　 ｏ ｄ ｔ ｎ ｏ 　 ｐ ｒ ｎ ，ｓｌ ｏ 　 　 Ｔ ５ ｃ ｒ ｍｉ ｉ ｅ ｉ ｉ ｎ 　 ｒ　ｅ ｖ ｄ ｉ 　 　 ｒ ｔ 　ｅ ｉ ．Ｂ ｃ ｕ ｅ ｔ ｅｆａ ｔ ｒ 　 ｕ ｈ ｅ ｓｏ　ｅ ａ