25压电式力学传感器详解.pptVIP

主要内容 2.5.1 压电效应 2.5.2 压电材料 2.5.3 压电式传感器的测量电路 2.5.4 压电式传感器的灵敏度 2.5.5 压电式传感器的应用 * 泉州信息学院机电工程系 第2章 压电式力学传感器 第2章 压电式力学传感器 Piezoelectric Sensors 概述 压电式传感器是一种自发电式传感器。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质表面产生电荷，从而实现非电量电测的目的。 压电传感元件是力敏感元件，它可以测量最终能变换为力的那些非电物理量，例如动态力、动态压力、振动加速度等，但不能用于静态参数的测量。 压电式传感器具有体积小、质量轻、频响高、信噪比大等特点。由于它没有运动部件，因此结构坚固、可靠性、稳定性高。 1、正（顺）压电效应： 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的一定表面上产生电荷，当外力去掉后，又重新恢复不带电状态的现象。当作用力方向改变时，电荷极性也随着改变。 一、 压电效应 压电效应演示 2、逆压电效应（电致伸缩效应）： 当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失的现象。 电能 机械能 正压电效应 逆压电效应 压电材料在外力作用下产生的表面电荷常用压电方程描述，为： 式中，qi—i面上的电荷密度(C／cm2)；Qi—i面上的总电荷量（C）；?j—j方向的应力(N／cm2)；Fj—j方向的作用力；dij—压电常数(C／N)，(i=1，2，3，j=1，2，3，4，5，6)。 二、压电材料及其特性 单晶 多晶：压电陶瓷，钛酸钡，锆钛酸铅(PZT) 新型材料 石英晶体 铌酸锂，钽酸锂 Z X Y (a) (a)石英晶体形状 (一)、常用压电材料 1、石英晶体 石英晶体的化学式微SiO2,是单晶体结构，如图2-26表示理想几何形状的石英晶体，它是一个正六面体晶柱。 天然形成的石英晶体外形 (1)石英晶体最大特点是——各向异性。 如上图所示，石英晶体的坐标图： Z——称为光轴；X——称为电轴；Y——称为机械轴。 从石英晶体上切下一片平行六面体——晶体切片，使它的晶面分别平行于X、Y、Z轴，如图。并在垂直X轴方向两面用真空镀膜或沉银法得到电极面。 图2-26 石英切片 (a)石英晶片的切割 (b)石英晶片 a b 双面镀银并封装 (2)压电效应 纵向压电效应 Z X Y 光轴 机械轴 电轴 FX FX + + + + － － － － － － － － + + + + (a) (b) X X 式中：d11——压电系数，与受力方向和变形有关；qx——垂直于X轴平面上的电荷，Fx——沿X轴方向施加的作用力 特点： 电荷qx的符号表示受压力还是受拉力； 切片上产生的电荷多少与切片的尺寸无关，即qx与Fx成正比； 晶片电荷极性与受力关系如右图所示。 + + + + + + + + － － － － － － － － (c) (d) FY FY X X 特点： 沿机械轴方向作用力在晶体产生的电荷与晶体切片的尺寸有关； 沿y轴作用力所产生的电荷极性与沿x轴作用力所产生的电荷极性是相反的，见左图。 注：石英晶体并不是在任何方向都存在压电效应 (2）压电效应 纵向压电效应 式中：d11——y轴方向受力的压电系数，据石英晶体的对称性，有d12 = -d11 ；qy——垂直于X轴平面上的电荷，Fy——沿y轴方向施加的作用力；L、δ——晶体切片的长度、厚度 (b) (a) + + - - - Y X X Y 硅氧离子的排列示意图 (a) 硅氧离子在Z平面上的投影 （b）等效为正六边形排列的投影 + (3)石英晶体的压电特性 石英晶体具有压电效应，是由其内部结构决定的。组成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在Z平面投影，如图(a)。为讨论方便，将这些硅、氧离子等效为图(b)中正六边形排列，图中“＋”代表Si4+，“－”代表2O2-。 当作用力FX=0时，正、负离子（即Si4+和2O2-）正好分布在正六边形顶角上，形成三个互成120o夹角的偶极矩P1、P2、P3，如图（a）所示。此时正负电荷中心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 P1＋P2＋P3＝0 当晶体受到沿X方向的压力（FX0）作用时，晶体沿X方向将产生收缩，正、负离子相对位置随之发生变化，如图（b）所示。此时正、负电荷中心不再重合，电偶极矩在X方向的分量为(P1+P2+P3)X0；在Y、Z方向上的分量为 （P1+P2+P3）Y=0 （P1+P2+P3）Z=