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真空获得技术—真空泵 真空泵的几个术语 抽气速率：在泵的入口处，压强为P, 单位时间内抽出的气体量为Q, 抽速Sp =Q/P, 单位：L/s 有效抽气速率：真空泵与真空室之间通常有管道，管道存在压差，减小了泵的抽速。 管道流导为U, 有效抽速 S=SpU/(Sp+U) 起始压强：真空泵开始工作的允许压强，泵的工作原理决定。 有些需要真空下开始工作，因此前级泵是必须的。 极限真空度：没有漏气和内壁脱气条件下，真空泵所能达到的最低气压，工作介质决定了极限真空。 * 如果平均自由程 真空室尺寸 ? 分子流 分子的运动互相之间是独立的，分子与墙壁表面的碰撞速率决定真空泵的抽气速度。 真空度 如果平均自由程 真空室尺寸 ? 粘滞流 分子运动互相影响 分子与分子的碰撞决定抽气气流动力学， 真空度 真空获得技术—真空泵 获得真空的方法：使用真空泵或者吸气剂，真空泵是获得真空的最重要工具。真空泵性能指标决定真空度高低。 * 抽气速率的计算: 通常情况下, 真空泵的抽气量 正比于真空室气压 P, 泵抽速 S 定义为： S 单位：升/秒, ?/s Q = PS，因此分子数减少速率为： 流量为： at T = const PV = NRT, N是分子总数 at T= const * 通常稳态条件下，抽气管道中的流量是守恒的， 即： Q = P1S1 = P2S2 pump 2 5 ?/s pump 1 500 ?/s P1 P2 P2 = 100 P1 * pump 500 ?/s P1, P2 连接管道，流导为： S1 S2 D = 直径, in cm L = 长度, in cm C = 流导, in ?/s 例子 1 D = 15 cm L = 20 cm C = 2025 ?/s S1= 401 ?/s 例子 2 D = 10 cm L = 20 cm C = 600 ?/s S1= 273 ?/s 真空泵昂贵. 连接管便宜. 分子流条件下 C 有管道的真空泵抽速： * 管道流导的计算： 管道并联的流导 C = C1 + C2 管道串联的流导 * D = 直径, in cm L = 长度, in cm C = 流导, in ?/s Pav = 管道内平均气压, in torr @ 分子流条件, D ~ 5 cm, P mtorr @ 粘滞流, P mtorr Pav C @ D ~5 cm, L = const viscous molecular mtorr l = 5 cm @ 1 mtorr 管道流导的计算： * pump 2 100 ?/s pump 1 500 ?/s Chamer 1 gas inlet, N2 1x10-3 torr ?/s connecting tube 1 cm inner diameter 10 cm length gas inlet, O2 1x10-4 torr ?/s Chamer 2 估计: P(N2) in chamber 1 P(N2) in chamber 2 P(O2) in chamber 1 * 抽空时间计算： 抽气流量方程 例子 V = 1000 ? S = 500 ? /s t = 2 s 每 2.3 t, 气压降低10倍 实际上, 真空度 from 10-6 torr to 10-7 torr，却需要比上述估计长得多的时间 为什么？ 器壁表面脱气。 因此腔体材料的选择十分重要，特别是高真空系统 * 各类真空泵的抽速 真空泵的分类 抽气式 旋片式真空泵 扩散泵 涡轮分子泵 分子拖拽泵 吸气式 冷凝泵 离子泵 升华泵 * 常用真空泵的原理: 机械泵: 油旋片泵, 罗茨泵 干式叶片泵, 辊对泵, 隔膜泵 扩散泵 涡轮分子泵 离子和升华泵 冷凝泵 抽速 工作气压 压缩比 气体选择性 * 旋片式机械泵 Mechanical Pump 第一级: down to 10-1 torr 第二级: down to 10-3 torr * inlet * 密封, 润滑 返流 ? 分子筛过滤 油式 干式 (无油) 密封不好 寿命短 污染 Inlet pressure: 10-3 torr ~ torr ~ atm heavy load at high pressure Outlet pressure: 1 atm ~ 1.1 atm limited by oil vapor air back leak * 抽速大 Pin Pout 压缩比低 ~ 10 净抽速 Qnet = Pin Sfor - PoutSback If Pou