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激光原理与技术 第四章 半导体激光器 第四章、半导体激光器 1、半导体激光器原理 2、半导体激光器的基本结构 3、半导体激光器的特性 4、几种典型半导体激光器件 5、半导体激光器的耦合封装 6、半导体激光器的几种典型应用 1、半导体激光器原理 半导体的能带结构 热激发过程 载流子的统计分布 服从费米分布， 热平衡条件下，一个电子占据一个能量为E的能级的几率为： T为绝对温度，K为玻耳兹曼常数，EF为费米能级。 如果 EEF 则 ?(E)1/2 当 EF–E?KT ?(E)接近于1 能级被电子填充 如果 EEF 则 ?(E)1/2 当 E–EF?KT ?(E)=e-(E-EF)/KT 即波尔兹曼分布 P－N结的形成 半导体激光器工作原理 F-P腔半导体激光器工作原里 2、半导体激光器的基本结构 同质结 异质结 量子阱 多量子阱 应变量子阱 异质结砷化镓激光器 半导体激光器的典型结构 多层对称介质波导 半导体激光器的波导结构 增益波导 半导体激光器的模式 半导体激光器的制作设备和条件 MBE MOCVD MOCVD 半导体材料的激射波段分布图 3、半导体激光器的特性 4、几种典型的半导体激光器 MQW多量子阱器件 以谐振腔类型划分 FP、DFB、VCSEL、外腔激光器 以波长划分 1550nm, 1480nm, 1310nm, 980nm, 850nm, 808nm, 670nm, 650nm, 633nm 以及更短波长的半导体激光器 DFB激光器 通信用半导体激光模块内部结构 管芯通过金线与驱动源连接 波长和功率的稳定靠控温实现 输出激光通过光学系统耦合入传输光纤 电吸收调制器集成多量子阱DFB激光器 单纵模输出 线宽窄 可高速调制 阈值电流低 寿命长 工作稳定 输出光不对称 与光纤耦合较难 三区可变波长DBR激光器 Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL): 单纵摸输出 阈值低?1mA 可高速调制 输出光斑对称 光纤耦合效率高 可做成阵列 面发光与边缘发光激光器 半导体激光器的输出光束 激光焊接 TO管和带尾纤器件 自动焊接设备 大功率激光器多模光纤扁平封装 扁平封装的优越性 体积小、成本低、适合大批量生产 工艺与散热状态分析 6、半导体激光器的几种典型应用 半导体激光器的应用 （1）???? 光通信 （2）???? 激光存储 （3）???? 激光打印机 （4）???? 激光测量 （5）???? 激光医疗 （6）???? 激光光谱 （7）???? 原子与原子核物理 （8）???? 量子频率标准 （9） 泵浦光源 光通信器件 光纤透镜直接耦合封装 Figure 6: ? X and Y-axis: 2μm tolerance for 0.5 dB additional coupling loss Figure 7: ? Z-axis with higher tolerance of 8μm  拉锥光纤微透镜的调整容差 Figure 8: ? Patented fixation mechanism of the fiber-chip coupling device which allows a correctable mechanical fixing of the SMF in front of a OEIC within 0.2 μm. ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? Figure 9: ?Manipulator tool for combining optical modules 光纤微透镜 球面镜导致波前畸变 非球面镜补偿使波前不发生畸变 通常采用1）直接在光纤端面做成一个半球形，使它起到短焦距透镜的作用。2）在光纤端面和LD管芯端面之间放上凸透镜、自聚焦透镜或柱面透镜。3）在光纤端面和LD管芯端面之间放透镜组等方法。这样一来可使耦合效率达到80%。 Figure 11: ?(a) Standardized optoelectronic module for double-sided fiber-chip coupling with 2.5 GHz bandwidth. (b) Photodiode module with up to 45 GHz bandwidth. 光纤耦合封装以前 耦合封装完成后  Figure 10: ?Search algorithm of the automated coupling pro