微机电系统及纳米技术大作业微压力传感器摘要.docVIP

微机电系统及纳米技术 大作业 题目：微型压力传感器 微型压力传感器 摘要：MEMS压力传感器是微系统世界里第一个出现的MEMS器件，该项技术已相当成熟 当今的现代化产业中，压力传感器扮演了很重要的角色。由于MEMS压力传感器具有高性能、低成本和小尺寸等优点，被广泛地应用于汽车电子、工业控制、消费电子、航天航空和医疗领域等MEMS压力传感器在每个领域中都在寻找新应用，例如：汽车领域的汽缸压力感测、医疗领域的循环正气压仪（CPAPM）、消费电子领域的智能手机（三星Galaxy S3的室内导航）和平板电脑。虽然所有这些新兴应用处于起步阶段，但是前途不可限量 关键字：MEMS，压力传感器 发展历程 1824年，正是由于瑞典化学家发现了硅，才为今天的电子工业革命奠定了材料基础。在1947年，Bell实验室利用半导体禇研制的第一个晶体管又为半导体产业奠定了基石。现如今，短短60年时间，微电子技术已成为了我们生活中不可或缺一部分。这其中，MEMS即微机电系统经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术 （1）发明阶段（1945 - 1960年）：这个阶段主要是以 1947年双极性晶体管的发明为标志。此后，半导体材料的这一特性得到较广泛应用。史密斯（C.S. Smith）于1945年发