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精密加工技術概論
國立台灣大學 95 學年度第 二 學期
機械工程學系教師課程教學規劃表
一、課程基本資料 課程名稱 中文：精密加工技術概論 英文：PRECISION MACHINING TECHNOLOGIES? 課程類別 □必修 □知識領域選修 ■一般選修 班次 授課教師 廖運炫 教授 學分數 3 課程編號 522 U4810 每週上課時數 3 選修人數 上課時間 五234 先修課程 機械製造 適修年級 二、課程教學目標與預期成效 課程教學目標：
向學生介紹與精密機械、模具、硬脆材料（如光學鏡片、晶圓） 加工、微細零件及微機電系統等相關之精密、超精密及微製造等加工技 術。 介紹切削、輪磨原理高速切削單點鑽石超精密車削（鏡面加工）探針掃瞄工程(AFM加工與檢測技術、STM技術)切削、輪磨原理介紹 2. 高速切削3. 單點鑽石超精密車削（鏡面加工） 4. 精密輪磨 5. 延性磨削 (ductile mode grinding) 6. 拋光、彈射拋光 (Elastic Emission Machining, EEM) 7. 線上電解修銳研磨 (Electrolytic in Process Dressing, ELID) 8. 化學機械研磨 (Chemical Mechanical Polishing, CMP) 9. 能量束加工技術 10. 微製造技術 11. 微放電、微切削 12. 探針掃瞄工程(AFM加工與檢測技術、STM技術)課程說明： 1. 本課程向學生介紹與精密機械、模具、硬脆材料（如光學鏡片、晶圓） 加工、微細零件及微機電系統等相關之精密、超精密及微製造等加工技 術。 2. 課程之開授以seminar之方式進行，並不定期邀請國內、外各專業技術 領域專家及學者進行專題演講，另將安排參觀工研院機械所微機電系統 部、其他研究單位及工廠等。 切削、輪磨原理介紹高速切削單點鑽石超精密車削（鏡面加工）精密輪磨延性磨削 (ductile mode grinding) 7 拋光、彈射拋光 (Elastic Emission Machining, EEM)拋光、彈射拋光 (Elastic Emission Machining, EEM)線上電解修銳研磨 (Electrolytic in Process Dressing, ELID)線上電解修銳研磨 (Electrolytic in Process Dressing, ELID)化學機械研磨 (Chemical Mechanical Polishing, CMP)能量束加工技術能量束加工技術微切削造技術微製微放電微放電、微切削微放電、微切削探針掃瞄工程(AFM加工與檢測技術、STM技術)課出席狀況、隨堂心得、作業及期末報告工綜e-mail: liaoys@ntu.edu.tw
助教： 陳姿伶
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